輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結(jié)于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。在各個關(guān)節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導體晶圓的機械手中，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關(guān)節(jié)的軸承。真空腔體開口于所述鋁合金平板上表面.中山庫存晶圓運送機械吸臂維修

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 汕頭庫存晶圓運送機械吸臂制造價格為此，手臂一般都采用剛性較好的導向桿來加大手臂的剛度.

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布。

割拋光：

單晶棒將按適當?shù)某叽邕M行切割，然后進行研磨，將凹凸的切痕磨掉，再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，晶圓片制造就完成了。

二，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導光。像是用二氧化硅做光導纖維是同一個道理。完成這步后就為后面光刻做好了準備。

光刻膠涂抹：

顧名思義，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠，而對其技術(shù)要求是要做到平整和薄。 機械手臂根據(jù)結(jié)構(gòu)形式的不同分為多關(guān)節(jié)機械手臂.

中國擁有龐大的制造業(yè)，是世界弟一工業(yè)機器人市場，有著1000多家與工業(yè)機器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機械臂制造領(lǐng)域處于大而不強的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?，F(xiàn)在國內(nèi)很多機器人企業(yè)有很多都不是在真心實意地在做技術(shù)，很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進口。所以，中國的機械臂在技術(shù)方面遠遠落后于國外，占有的只是低端市場的份額。不過，在非民用機器人與航天機械臂領(lǐng)域，中國的技術(shù)也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累，中國的機械臂技術(shù)也會不比國外的差多少。 機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂制造價格

有X移動，Y移動，Z移動，X轉(zhuǎn)動，Y轉(zhuǎn)動，Z轉(zhuǎn)動六個自由度組成。中山庫存晶圓運送機械吸臂維修

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術(shù)方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 中山庫存晶圓運送機械吸臂維修

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