（1）利用氣體熱學(xué)特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學(xué)效應(yīng)來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a）皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來測量真空度。當真空度發(fā)生變化時，熱絲的熱傳導(dǎo)性能會受到影響，進而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化，可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。

b）熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進行真空度測量的儀器，其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化，熱電偶的溫差電勢也會相應(yīng)改變，從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷等特點。 電容真空計在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用？南京高質(zhì)量真空計

金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當真空度發(fā)生變化時，薄膜電容會發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會導(dǎo)致膜片間距離變化，進而引起電容的變化。通過測量電容的變化，并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化，就可以作為輸出的信號來測量真空度。

高精度：金屬電容薄膜真空計的測量精度較高，部分產(chǎn)品的精度可達0.01%，可以滿足各種精度要求的實驗和生產(chǎn)需求。高靈敏度：由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米，因此該真空計能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng)，具有高靈敏度。長壽命：金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性，使得金屬電容薄膜真空計能夠長時間穩(wěn)定工作，壽命長達數(shù)年。簡單易用：金屬電容薄膜真空計結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，只需連接電源和真空管路即可進行測試。同時，部分產(chǎn)品還具有自動清零、自動校準等功能，使測試更加準確、方便。 杭州皮拉尼真空計公司真空計的讀數(shù)通常是不變的，這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。

皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼，內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件?？刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路，并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。根據(jù)測量方式的不同，皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種：定電流式：在這種方式中，通過加熱燈絲的電流保持恒定。當真空壓力改變時，燈絲的溫度會發(fā)生變化，從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量，并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式：在這種方式中，加熱燈絲上的電壓保持恒定。當真空壓力變化時，燈絲的溫度和電阻值也會相應(yīng)變化。通過測量通過燈絲的電流變化，可以間接測量真空壓力。

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計，已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試，填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計，已實現(xiàn)全系列部件國產(chǎn)化，產(chǎn)品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內(nèi)FAB廠上機測試，填補了MKS對國內(nèi)斷供的影響。皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題？

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環(huán)境。高精度：提供精確的真空度測量。

陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導(dǎo)或壓力效應(yīng)來確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計：利用氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。皮拉尼真空計：基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力的關(guān)系。電容式真空計：通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應(yīng)用領(lǐng)域 電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空計進行比對。安徽mems電容真空計多少錢

真空計的適用壓力范圍是？南京高質(zhì)量真空計

熱傳導(dǎo)真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導(dǎo)真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導(dǎo)真空計的指示不但和氣體種類有關(guān)，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關(guān)。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中，用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒，然后停止加速，任其自然衰減，用電子學(xué)方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率，從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度，吸氣、放氣速率小，壓強指示受氣體種類影響小，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大，測量時間也較長。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。南京高質(zhì)量真空計