皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題?溫州mems皮拉尼真空計供應商
真空計后續(xù)維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態(tài)。清潔保養(yǎng):定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞,應及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器:定期對真空計進行校準,以確保其測量結(jié)果的準確性。綜上所述,真空計的安裝過程需要認真準備、遵循步驟和注意事項,并在安裝后進行測試和維護。正確的安裝方法和標準的操作流程將有效地提高測量精度和準確性。廣東陶瓷真空計設備供應商真空計按原理可以分哪幾類?
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、穩(wěn)定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。
2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應用:低真空和中真空測量。在皮拉尼真空計中,熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。
真空計用于測量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測量需求選擇合適的真空計類型,常見的有:熱偶真空計:適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計:適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計:適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計:適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測量點的位置,避免氣流或溫度波動影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準校準步驟:使用標準真空源或校準設備,按說明書進行校準。校準頻率:定期校準,確保測量精度。4. 操作啟動:接通電源,預熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時及時更換。6. 注意事項量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。安全:操作時注意安全,避免高壓或真空泄漏風險。7. 故障處理無讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準或更換傳感器。皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。溫州mems皮拉尼真空計供應商
真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。溫州mems皮拉尼真空計供應商
MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:半導體制造:在半導體制造過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領域,MEMS電容真空計用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以提高冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性??茖W研究:在物理學、化學、材料科學等領域的研究中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測真空度,確保實驗環(huán)境的準確性和穩(wěn)定性。航空航天:在航空航天領域,MEMS電容真空計用于監(jiān)測太空艙內(nèi)的真空度,確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫(yī)療設備:在醫(yī)療設備的制造和維護過程中,MEMS電容真空計用于監(jiān)測放射設備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。溫州mems皮拉尼真空計供應商