皮拉尼真空計利用惠斯通電橋的補償原理,通過測量一個發(fā)熱體與一個接收發(fā)熱體之間的熱傳導程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時,其溫度會升高。對于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導和對流向周圍介質(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導率(即將熱量散發(fā)給周圍介質的能力)會降低,導致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會引起導線電阻的變化,這種變化可以通過惠斯通電橋來測量。當氣體分子密度發(fā)生變化時,熱量從金屬絲傳遞到氣體會受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應變化。因此,可以通過測量這種能量變化來間接測量真空壓力。真空計按計量原理如何分類?江蘇電容薄膜真空計設備廠家
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測設備內的壓強低于大氣壓強,其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數值稱真空度。計算方法:真空度=大氣壓強-***壓強。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等重慶真空計設備供應商電容薄膜真空計的校準注意事項有?
(1)利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態(tài)或動力學效應來推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發(fā)生變化時,熱絲的熱傳導性能會受到影響,進而導致電阻發(fā)生變化。通過測量電阻的變化,可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應進行真空度測量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢也會相應改變,從而提供關于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結構簡單、操作便捷等特點。
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點:精度高、穩(wěn)定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。溫度對皮拉尼真空計測量結果有何影響?
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發(fā)的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。天津金屬真空計設備廠家
皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統中的壓力。江蘇電容薄膜真空計設備廠家
概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜,通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號轉換:形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信號處理:電信號經放大和處理后,輸出與壓力對應的讀數。主要特點高精度:測量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。江蘇電容薄膜真空計設備廠家