利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產生變形,這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉,從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發(fā)生變化時,薄膜會相應地產生形變,這種形變會導致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數值。薄膜電容規(guī)具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。真空計按計量原理如何分類?溫州皮拉尼真空計供應商
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產環(huán)境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數,在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。陜西陶瓷真空計設備廠家電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質來測量。
真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計(直接測量壓力)和相對真空計(需校準)。主要類型包括機械式(如波登管)、熱傳導式(皮拉尼計)、電離式(熱陰極/冷陰極)、電容式(MEMS)等。選擇時需考慮量程(如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa)、精度(±1%~±15%)、氣體類型兼容性(惰性氣體需特殊校準)及環(huán)境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。
皮拉尼計(熱傳導真空計)基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理,通過加熱電阻絲(通常為鎢或鉑)測量其溫度變化。低壓下氣體分子少,熱導率降低,電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000 Pa~10?1 Pa,精度±10%。需注意氣體種類影響(氫氣熱導率高,讀數偏低),且長期使用可能因污染導致零點漂移。現代皮拉尼計集成溫度補償算法,穩(wěn)定性可達±1%/年。3. 熱陰極電離真空計(Bay
真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時,這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,例如:利用力學性能的真空計:如波爾登真空計和薄膜電容規(guī),它們通過測量氣體對某種力學元件(如薄膜)的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。皮拉尼真空計的主要結構包括哪些部分?
真空計的現代發(fā)展技術進步:隨著半導體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應用。智能化:現代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠實時監(jiān)測、分析和反饋數據,提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。隨著半導體和微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的不斷進步,真空計的精度和穩(wěn)定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發(fā)和應用。智能化:現代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠實時監(jiān)測、分析和反饋數據,提高了用戶的操作便利性和系統(tǒng)的整體效率。真空計原理及測量范圍是?浙江高精度真空計生產廠家
電容真空計有哪些優(yōu)點?溫州皮拉尼真空計供應商
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器,從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展,真空計正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統(tǒng)進行集成,實現更加智能化的監(jiān)測和控制。然而,真空計也存在一些局限性,如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此,在選擇和使用真空計時,需要綜合考慮其優(yōu)缺點以及具體的應用需求。溫州皮拉尼真空計供應商