常見(jiàn)的真空計(jì)類(lèi)型包括:直接讀取式真空計(jì):如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。這類(lèi)真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。相對(duì)真空計(jì):如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)。這類(lèi)真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類(lèi)有關(guān)。電容式薄膜真空計(jì):利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。它的測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無(wú)關(guān)。在皮拉尼真空計(jì)中,熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。四川mems電容真空計(jì)供應(yīng)商
7. 真空隔熱原理杜瓦瓶(如保溫杯)利用真空層阻斷熱傳導(dǎo)和對(duì)流,*剩輻射傳熱。多層鋁箔反射屏可降低輻射熱導(dǎo),使LNG儲(chǔ)罐日蒸發(fā)率<0.1%。國(guó)際空間站真空隔熱材料耐受-150~120℃溫差,真空度維持10?3 Pa以上。
8. 陰極射線管與真空CRT電視依賴(lài)10?? Pa真空環(huán)境,電子槍發(fā)射的電子束在電場(chǎng)中加速至數(shù)萬(wàn)伏,撞擊熒光粉發(fā)光。真空避免電子與氣體分子碰撞,確保圖像清晰。早期X射線管也基于類(lèi)似原理,真空度不足會(huì)導(dǎo)致管壁電離發(fā)光。
9. 真空斷路器高壓開(kāi)關(guān)使用真空(10?? Pa)作為滅弧介質(zhì),電流過(guò)零時(shí)金屬蒸氣快速?gòu)?fù)合,絕緣恢復(fù)速度比SF?斷路器快10倍。觸頭材料多用銅鉻合金,分?jǐn)嗄芰_(dá)100 kA。真空斷路器體積小且無(wú)污染,占中壓市場(chǎng)80%份額。 蘇州皮拉尼真空計(jì)多少錢(qián)如何定制不同企業(yè)使用的真空計(jì)類(lèi)型?
電容式薄膜真空計(jì)(MEMS規(guī))通過(guò)金屬薄膜在壓力下的形變改變電容值,量程覆蓋10?~10?? Pa,精度±0.25%。溫度系數(shù)低(<0.01%/℃),適合寬溫域應(yīng)用。硅微加工技術(shù)制造的MEMS規(guī)體積*硬幣大小,響應(yīng)時(shí)間<1 ms。需避免顆粒物損壞薄膜,且腐蝕性氣體會(huì)侵蝕電極。**型號(hào)內(nèi)置自校準(zhǔn)功能,長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)異。6. 麥克勞真空計(jì)(**壓縮式)***真空計(jì),通過(guò)壓縮已知體積氣體至毛細(xì)管,測(cè)量液柱高度差計(jì)算壓力。量程10~10?? Pa,精度±1%,但***靜態(tài)測(cè)量。**蒸汽毒性限制其使用,現(xiàn)多被石英振子規(guī)替代。其原理仍作為真空計(jì)量標(biāo)準(zhǔn),用于校準(zhǔn)其他真空計(jì)。改進(jìn)型油壓縮規(guī)使用擴(kuò)散泵油替代**,安全性提升。
真空測(cè)量的特點(diǎn)測(cè)量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計(jì)是間接測(cè)量,只有壓力為105~10Pa時(shí),可直接測(cè)單位面積所受的力。3采用電測(cè)技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。4大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類(lèi)和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類(lèi)和成分,否則會(huì)造成很大誤差。5測(cè)量精度不高。選擇真空計(jì)的原則在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì);真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來(lái)影響。3靈敏度與氣體種類(lèi)有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)短。5穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場(chǎng)有無(wú)銷(xiāo)售、購(gòu)買(mǎi)的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中,如強(qiáng)酸、鹽堿環(huán)境下,要求真空計(jì)具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下,對(duì)真空計(jì)中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。
超高真空測(cè)量技術(shù)10?? Pa以下需抑制規(guī)或磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)(Spinning Rotor Gauge)。后者通過(guò)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速衰減測(cè)壓力,量程10?1~10?? Pa,精度±3%,***測(cè)量無(wú)需校準(zhǔn)。X射線極限(10?? Pa)是電離規(guī)的理論下限,突破需采用低溫量子傳感器(如超導(dǎo)腔頻率偏移法)。12. 真空計(jì)的響應(yīng)時(shí)間特性皮拉尼計(jì)響應(yīng)約1~10秒(熱慣性限制);電離規(guī)需預(yù)熱3~5分鐘(陰極穩(wěn)定);電容規(guī)**快(<10 ms)。動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量需選擇高頻響儀表,如MEMS規(guī)帶寬可達(dá)1 kHz。電離規(guī)在脈沖壓力下可能因電子發(fā)射延遲產(chǎn)生相位滯后。如何維護(hù)和保養(yǎng)電容真空計(jì)?陜西金屬真空計(jì)生產(chǎn)廠家
電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)。四川mems電容真空計(jì)供應(yīng)商
其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類(lèi),如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類(lèi)型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y(cè)量?jī)x器測(cè)量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。不同類(lèi)型的真空計(jì)在測(cè)量原理、測(cè)量范圍、精度、使用條件以及適用場(chǎng)景等方面各有千秋。在選擇真空計(jì)時(shí),需要根據(jù)具體的測(cè)量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進(jìn)行綜合考慮。同時(shí),隨著科技的不斷發(fā)展,新型真空計(jì)的出現(xiàn)也將為真空測(cè)量領(lǐng)域帶來(lái)更多的選擇和可能性。 四川mems電容真空計(jì)供應(yīng)商