Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)QuantumX的中心是Nanoscribe獨(dú)jia專li的雙光子灰度光刻技術(shù)。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計(jì)迭代，打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗(yàn)證原型，也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。德國(guó)Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會(huì)展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX，并榮獲創(chuàng)新獎(jiǎng)。該系統(tǒng)是世界上No.1基于雙光子灰度光刻技術(shù)（2GL?）的精密加工微納米打印系統(tǒng)，可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。更多灰度光刻知識(shí)，歡迎咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。廣東Nanoscribe灰度光刻無(wú)掩光刻

雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件（DOE），并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻，刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。Nanoscribe的QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無(wú)掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求。基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作，即一步打印多級(jí)衍射光學(xué)元件，并以經(jīng)濟(jì)高效的方法將多達(dá)4,096層的設(shè)計(jì)加工成離散的或準(zhǔn)連續(xù)的拓?fù)?。廣東Nanoscribe灰度光刻無(wú)掩光刻N(yùn)anoscribe中國(guó)分公司-納糯三維帶您了解Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)。

這種設(shè)計(jì)策略不僅可用于改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器，該項(xiàng)目還旨在展示具有動(dòng)態(tài)移動(dòng)部件的新型傳感器概念的可行性。在第二種設(shè)計(jì)中，研究人員在一根光纖的端面3D打印了一個(gè)微型轉(zhuǎn)子。從轉(zhuǎn)子上反射出的光脈沖可以被讀取，因此該傳感器可以被用于分析流速。FabryPérot傳感器進(jìn)行溫度和折射率感應(yīng)的測(cè)試裝置圖。圖片：資料來(lái)源見(jiàn)本文下方。通過(guò)動(dòng)態(tài)可旋轉(zhuǎn)的3D微納加工概念，研究人員展示了智能設(shè)計(jì)如何改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器，并為整個(gè)新的微型化傳感器概念鋪平道路的能力。

對(duì)準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)(A2PL®)是Nanoscribe基于雙光子聚合（2PP）的一種新型專利納米微納制造技術(shù)。該技術(shù)可以將打印的結(jié)構(gòu)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)到光纖和光子芯片上，例如用于光子封裝中的光學(xué)互連。同時(shí)高精度檢測(cè)系統(tǒng)還可以識(shí)別基準(zhǔn)點(diǎn)或拓?fù)浠滋卣?，確保對(duì)3D打印進(jìn)行高度精確的對(duì)準(zhǔn)。Nanoscribe對(duì)準(zhǔn)雙光可光刻技術(shù)搭配nanoPrintX，一種基于場(chǎng)景圖概念的軟件工具，可用于定義對(duì)準(zhǔn)3D打印的打印項(xiàng)目。樹(shù)狀數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)提供了所有與打印相關(guān)的對(duì)象和操作的分層組織，用于定義何時(shí)、何地、以及如何進(jìn)行打印。在nanoPrintX中可以定義單個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記以及基板特征，例如芯片邊緣和光纖表面。使用QuantumXalign系統(tǒng)的共焦單元或光纖照明單元，可以識(shí)別這些特定的基板標(biāo)記，并將其與在nanoPrintX中定義的數(shù)字模型進(jìn)行匹配。對(duì)準(zhǔn)雙光子光刻技術(shù)和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統(tǒng)的標(biāo)配。Quantum X是全球頭一臺(tái)灰度光刻激光直寫(xiě)系統(tǒng)。

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復(fù)合物，或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。微米級(jí)增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計(jì)的上限，借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能，可以輕松實(shí)現(xiàn)球形，非球形，自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作，并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件（DOE），并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻，刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝，衍射光學(xué)元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件，可以直接作為原型使用，也可以作為批量生產(chǎn)母版工具?；叶裙饪碳夹g(shù)可以應(yīng)用于微電子、光電子、生物醫(yī)學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。廣東Nanoscribe灰度光刻無(wú)掩光刻

更多雙光子灰度光刻系統(tǒng)的內(nèi)容，請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。廣東Nanoscribe灰度光刻無(wú)掩光刻

超高速灰度光刻技術(shù)的應(yīng)用不僅局限于傳統(tǒng)領(lǐng)域，還可以拓展到新興領(lǐng)域。例如，在新能源領(lǐng)域，它可以用于制造高效的太陽(yáng)能電池板；在人工智能領(lǐng)域，它可以用于制造更快、更強(qiáng)大的計(jì)算芯片。這些應(yīng)用將進(jìn)一步推動(dòng)科技的發(fā)展，為人類(lèi)創(chuàng)造更美好的未來(lái)。超高速灰度光刻技術(shù)的發(fā)展離不開(kāi)科研人員的不懈努力和創(chuàng)新精神。他們通過(guò)不斷突破科技邊界，攻克了一個(gè)又一個(gè)難題，從而實(shí)現(xiàn)了這一技術(shù)的突破。他們的付出為我們帶來(lái)了更多的機(jī)遇和挑戰(zhàn)，也為科技進(jìn)步做出了巨大貢獻(xiàn)。超高速灰度光刻技術(shù)的問(wèn)世，標(biāo)志著科技進(jìn)步的新里程碑。我們相信，在這項(xiàng)技術(shù)的推動(dòng)下，未來(lái)將會(huì)有更多的創(chuàng)新和突破。讓我們共同期待超高速灰度光刻技術(shù)帶來(lái)的美好未來(lái)！廣東Nanoscribe灰度光刻無(wú)掩光刻