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黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2025-07-24

QuantumXshape在3D微納加工領域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®)。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細處理網(wǎng)格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調(diào),該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達到超光滑,同時保持高精度的形狀控制。它不只是應用于生物醫(yī)學、微光學、MEMS、微流道、表面工程學及其他很多領域中器件的快速原型制作的理想工具,同時也成為基于晶圓的小結(jié)構(gòu)單元的批量生產(chǎn)的簡易工具。通過系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來很大程度提高實用性。,灰度光刻可以明顯縮短制造時間,提高生產(chǎn)效率。黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng),灰度光刻

微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設計獲得想要的結(jié)構(gòu),對于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進行后續(xù)的復制工作,并通過納米壓印技術(shù)進行復制?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,八邊金字塔結(jié)構(gòu))黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)相比于傳統(tǒng)的二進制光刻技術(shù),灰度光刻技術(shù)可以更高效地利用光刻膠,降低成本。

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這款灰度光刻設備還具備智能化的特點。它配備了先進的自動化控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)和監(jiān)控,減少了人工操作的需求,提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和可靠性。同時,設備還具備故障自診斷和遠程監(jiān)控功能,及時發(fā)現(xiàn)和解決問題,減少了生產(chǎn)線的停機時間,提高了生產(chǎn)效率。這款設備還具備良好的適應性和可擴展性。它可以適應不同材料和工藝的加工需求,為我們的生產(chǎn)線提供了更大的靈活性。同時,設備還支持模塊化設計,可以根據(jù)需要進行擴展和升級,滿足我們未來的生產(chǎn)需求。這款全新的灰度光刻設備為我們的生產(chǎn)線帶來了巨大的改變。它的精度、穩(wěn)定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求,提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。我們相信,有了這款設備的加入,我們的公司將迎來更加美好的未來。

Nanoscribe成立于2007年,是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的衍生公司。Nanoscribe憑借其過硬的技術(shù)背景和市場敏銳度奠定了其市場優(yōu)先領導地位,并以高標準來要求自己以滿足客戶的需求。Nanoscribe將在未來在基于雙光子聚合技術(shù)的3D微納加工系統(tǒng)基礎上進一步擴大產(chǎn)品組合實現(xiàn)多樣化,以滿足不用客戶群的需求。Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)作工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件。雙光子灰度光刻技術(shù)將灰度光刻的高性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合。

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超高速灰度光刻技術(shù)是一項帶領科技發(fā)展的重大突破,為我們帶來了無限可能。這項技術(shù)的出現(xiàn),將徹底改變我們對光刻的認知,為各行各業(yè)帶來了巨大的創(chuàng)新機遇。超高速灰度光刻技術(shù)主要是利用高能激光束對材料進行精確的刻蝕,從而實現(xiàn)微米級甚至納米級的精細加工。相比傳統(tǒng)的光刻技術(shù),超高速灰度光刻技術(shù)具有更高的加工速度和更精確的刻蝕效果。這意味著我們可以在更短的時間內(nèi)完成更復雜的加工任務,提高了生產(chǎn)效率。超高速灰度光刻技術(shù)在電子、光電子、生物醫(yī)藥等領域具有廣泛的應用前景。在電子領域,它可以用于制造更小、更快的芯片和電路板,推動電子產(chǎn)品的迭代升級。在光電子領域,它可以用于制造高精度的光學元件,提高光學設備的性能。在生物醫(yī)藥領域,它可以用于制造微型生物芯片和生物傳感器,實現(xiàn)更精確的醫(yī)學診斷。如需詳細了解雙光子聚合(2PP)和雙光子灰度光刻(2GL ?)的內(nèi)容請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維。北京超高速灰度光刻3D光刻

基于雙光子灰度光刻技術(shù) (2GL ?)的Quantum X打印系統(tǒng)可以實現(xiàn)一氣呵成的制作。黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)的子公司,開發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機以及光敏材料和工藝解決方案。其口號是:“我們讓小物件變得重要”,公司創(chuàng)始人開發(fā)出一種技術(shù),對智能手機、手持設備和醫(yī)療技術(shù)領域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品。通過基于雙光子聚合(2PP)的3D打印機投入市場,他們已經(jīng)為全球的大學和新興行業(yè)提供了新的解決方案,致力于3D微打印生命科學研究以及納米級3D打印光學,甚至利用他們的技術(shù)來開發(fā)創(chuàng)新的設備,例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,“Beers定律對當今的無掩模光刻設備施加了強大的限制,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,提供了前所未有的設計自由度和易用性,我們的客戶正在微加工的前沿工作。“納米標記系統(tǒng)基于雙光子吸收,這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過程。黑龍江工業(yè)級灰度光刻三維微納米加工系統(tǒng)

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