精細探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢：先進應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應(yīng)。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均，因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細的移動控制，即可提升晶圓翻面時的探測精確度，使精細的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào)，以提高精確度，并縮短索引的時間。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。青海磁場探針臺廠家

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。青海磁場探針臺廠家上海勤確科技有限公司做好每一次服務(wù)是我們對于客戶的承諾，用心服務(wù)好客戶。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復(fù)雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù)，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備，在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展，市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進行測試，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導(dǎo)下一道工序。

晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行，晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用：晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試，一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?，同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子，以免造成定子及動子的損傷。

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進行設(shè)計，使運動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。3、整個四維運動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu)，保證其速率能到達70mm/s，并能提高運動過程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護。某些針尖位置高的扎不上AL層,使測試時這些針上電路不通。上海溫控探針臺廠家

晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場探針臺，通用性設(shè)計；容納12寸晶圓。青海磁場探針臺廠家

探針治具的校準(zhǔn)：我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項全部校準(zhǔn)掉，當(dāng)使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準(zhǔn)方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準(zhǔn)，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準(zhǔn)之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片，校準(zhǔn)片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。青海磁場探針臺廠家