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盡管半導體測試探針國產化迫在眉睫,但從技術的角度來看,要想替代進口產品卻并不容易。業(yè)內人士指出,國內半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設備、經(jīng)驗、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),同時也實施了技術封鎖,國內并沒有相應的技術人才,包括生產人員和設計人員都缺乏。國內大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產制造能力。半導體設備價值普遍較高,一條先進半導體生產線投資中,設備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。甘肅手動探針臺哪里有
針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調整好,尼龍絲碰到針尖上,針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時,壓點窗口上墨跡沾污,使片子與AL層接觸不良,參數(shù)通不過,還有對后續(xù)封裝壓焊有影響,使芯片與封裝后成品管腳焊接質量差,所以平時裝打點器時,不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低,而應該使尼龍絲與硅片留有一定距離,然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心,如已經(jīng)沾上墨跡,要立即用酒精擦干凈,并用氮氣吹干。云南射頻探針臺上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍天。
探針治具的校準:我們希望校準過程盡可能的把測試網(wǎng)絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉,當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準,然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭,而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片,校準片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。
探針臺主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料,下面就由上海勤確給大家簡要介紹。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產品品質的重要檢測設備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設備及軟件,電源偏置等。手動或者自動移動晶圓片,并通過探針卡實現(xiàn)這一部分的電子線路連接。
“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對高產出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言,針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強化更小晶粒定位的精確性,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產出損失。通常探針是由鎢制成的,它如果長期不用,針尖要形起氧化。甘肅手動探針臺哪里有
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探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經(jīng)過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關鍵設備。經(jīng)過檢測,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。甘肅手動探針臺哪里有