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山東碳化硅襯底進口sic

來源: 發(fā)布時間:2022-01-06

功率半成品在成熟節(jié)點上制造。這些設備旨在提高系統(tǒng)的效率并將能量損失降至比較低。通常,它們的額定值是由電壓和其他規(guī)格決定的,而不是由工藝幾何形狀決定的。多年來,占主導地位的功率半技術(shù)一直(現(xiàn)在仍然)基于硅,即功率MOSFET和絕緣柵雙極晶體管(IGBT)。功率MOSFET被認為是低價、當下流行的器件,用于適配器、電源和其他產(chǎn)品中。它們用于高達900伏的應用中。在傳統(tǒng)的MOSFET器件中,源極和漏極位于器件的頂部。相比之下,功率MOSFET具有垂直結(jié)構(gòu),其中源極和漏極位于器件的相對側(cè)。垂直結(jié)構(gòu)使設備能夠處理更高的電壓。6H-SiC結(jié)構(gòu)最為穩(wěn)定,適用于制造光電子器件。山東碳化硅襯底進口sic

SiC由Si原子和C原子組成,其晶體結(jié)構(gòu)具有同質(zhì)多型體的特點,在半導體領(lǐng)域最常見的是具有立方閃鋅礦結(jié)構(gòu)的3C-SiC和六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)的4H-SiC和6H-SiC。21世紀以來以Si為基本材料的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)已有長足的發(fā)展,隨著MEMS應用領(lǐng)域的不斷擴展,Si材料本身的性能局限性制約了Si基MEMS在高溫、高頻、強輻射及化學腐蝕等極端條件下的應用。因此尋找Si的新型替代材料正日益受到重視。在眾多半導體材料中,SiC的機械強度、熱學性能、抗腐蝕性、耐磨性等方面具有明顯的優(yōu)勢,且與IC工藝兼容,故而在極端條件的MEMS應用中,成為Si的優(yōu)先替代材料。河北碳化硅襯底4寸SIC禁帶寬度較大,具有熱傳導率高、耐高溫、抗腐蝕、化學穩(wěn)定性高等特點。

PVT法和HTCVD法生長碳化硅晶體原理圖。兩者都可以用于生長4H-SiC碳化硅晶片,HTCVD更像是PVT的“加強版”。PVT法的優(yōu)勢在于相對簡單易控制,市場占有率高,生長n型導電晶片很成熟。其劣勢是p型導電和高阻半絕緣型晶片生長成本高,不能生長高質(zhì)量的高純半絕緣晶片。HTCVD法的優(yōu)勢是可以生長導電型(n、p)和高純半絕緣晶片,可以控制摻雜濃度,使晶片中載流子濃度在3×1013~5×1019/cm3之間可調(diào)。其劣勢是技術(shù)門檻高,市場占有率低。

    碳化硅襯底材料是新的一代半導體材料,其應用領(lǐng)域具有較強的戰(zhàn)略意義。中國正逐步成長為全球?qū)捊麕О雽w材料生產(chǎn)的主要競爭市場之一。碳化硅襯底短期內(nèi)依然會面臨制備難度大、成本高昂的挑戰(zhàn),目前碳化硅功率器件的價格仍數(shù)倍于硅基器件,下游應用領(lǐng)域仍需平衡碳化硅器件的高價格與因碳化硅器件的優(yōu)越性能帶來的綜合成本下降之間的關(guān)系。碳化硅半導體主要應用于以5G通信、國防、航空航天為的射頻領(lǐng)域和以新能源汽車、“新基建”為的電力電子領(lǐng)域,在民用、領(lǐng)域均具有明確且可觀的市場前景作者:見微數(shù)據(jù)鏈接:源:雪球著作權(quán)歸作者所有。商業(yè)轉(zhuǎn)載請聯(lián)系作者獲得授權(quán),非商業(yè)轉(zhuǎn)載請注明出處。風險提示:本文所提到的觀點只個人的意見,所涉及標的不作推薦,據(jù)此買賣,風險自負。 碳化硅可在超過200℃的高溫下長期穩(wěn)定地工作,因此,相比于硅,碳化硅方案可以大量縮減冷卻負擔。

因此,對于牽引逆變器,從IGBT轉(zhuǎn)移到SiCMOSFET是有意義的。但這并不是那么簡單,因為成本在等式中起著重要作用。然而,特斯拉已經(jīng)采取了冒險行動。該公司在其型號3中使用了意法半導體公司的SiCMOSFET,并補充說特斯拉也在使用其他供應商。其他汽車制造商也在探索這項技術(shù),盡管出于成本考慮,大多數(shù)原始設備制造商并未加入這一行列。不過,有幾種方法可以實現(xiàn)從IGBT到SiCMOSFET的切換。根據(jù)Rohm的說法,有兩種選擇:?將IGBT保留在系統(tǒng)中,但將硅二極管更換為SiC二極管。?用SiC基MOSFET和二極管替換硅基IGBT和二極管。SiC襯底吸收380納米以下的紫外光,不適合用來研發(fā)380納米以下的紫外LED。浙江碳化硅襯底進口導電

碳化硅材料的重要用途還包括:微波器件襯底、石墨烯外延襯底。山東碳化硅襯底進口sic

隨著下游新能源汽車、充電樁、光伏、5G基站等領(lǐng)域的爆發(fā),了對第三代半導體——碳化硅材料襯底、外延與器件方面的巨大市場需求,國內(nèi)眾多企業(yè)紛紛通過加強技術(shù)研發(fā)與資本投入布局碳化硅產(chǎn)業(yè),我們首先來探討一下碳化硅襯底的國產(chǎn)化進程。碳化硅分為立方相(閃鋅礦結(jié)構(gòu))、六方相(纖鋅礦結(jié)構(gòu))和菱方相3大類共 260多種結(jié)構(gòu),目前只有六方相中的 4H-SiC、6H-SiC才有商業(yè)價值。另碳化硅根據(jù)電學性能的不同主要可分為高電阻(電阻率 ≥105Ω·cm)的半絕緣型碳化硅襯底和低電阻(電阻率區(qū)間為 15~30mΩ·cm)的導電型碳化硅襯底,滿足不同功能芯片需求山東碳化硅襯底進口sic

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