電子探針X射線顯微分析儀（簡稱電子探針）利用約1Pm的細(xì)焦電子束，在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線，根據(jù)特征X射線的波長和強(qiáng)度，進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同，通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器，同時兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機(jī)系統(tǒng)以外，還主要包括分光系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒），X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射、能作電子熒光觀察等。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素；但是對原子序數(shù)小于12的元素，其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達(dá)十萬分之一。檢測的***靈敏度因元素而異，一般為10-14～10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了***臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。上海優(yōu)勢探針現(xiàn)價電子探針可以對試樣中微小區(qū)域（微米級）的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析。

電子探針儀（圖1）主要包括：探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應(yīng)用領(lǐng)域是金屬學(xué)。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析，直觀而方便，還能較準(zhǔn)確地測定元素的擴(kuò)散和偏析情況。此外，它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題，測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等，是機(jī)械構(gòu)件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。

該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發(fā)源。為此，一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號強(qiáng)度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是，先利用能發(fā)出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點的位置，通過樣品移動裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上，同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優(yōu)點是光學(xué)觀察和X射線分析可同時進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。X射線譜儀。測量各種元素產(chǎn)生的X射線波長和強(qiáng)度，并以此對微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。

早期采用的RNA探針是細(xì)胞mRNA探針和病毒RNA探針，這些RNA是在細(xì)胞基因轉(zhuǎn)錄或病毒復(fù)制過程中得到標(biāo)記的，標(biāo)記效率往往不高，且受到多種因素的制約。這類RNA探針主要用于研究目的，而不是用于檢測。例如，在篩選逆轉(zhuǎn)錄病毒人類免疫缺陷病毒（HIV）的基因組DNA克隆時，因無DNA探針可利用，就利用HIV的全套標(biāo)記mRNA作為探針，成功地篩選到多株HIV基因組DNA克隆。又如進(jìn)行中的轉(zhuǎn)錄分析（nuclearrunontranscrip－tionassay）時，在體外將細(xì)胞核分離出來，然后在α-32P-ATP的存在下進(jìn)行轉(zhuǎn)錄，所合成mR－NA均摻入同位素而得到標(biāo)記，此混合mRNA與固定于硝酸纖維素濾膜上的某一特定的基因的DNA進(jìn)行雜交，便可反映出該基因的轉(zhuǎn)錄狀態(tài)，這是一種反向探針實驗技術(shù)。主要用來分析固體物質(zhì)表面的細(xì)小顆粒或微小區(qū)域，小范圍直徑為1μm左右。普陀區(qū)標(biāo)準(zhǔn)探針商家

把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學(xué)組成以及各元素的重量百分?jǐn)?shù)。分析前要根據(jù)試驗?zāi)康闹苽錁悠罚瑯悠繁砻嬉鍧?。用波譜儀分析樣品時要求樣品平整，否則會降低測得的X射線強(qiáng)度。定性分析1 點分析用于測定樣品上某個指定點的化學(xué)成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描，甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀（波譜儀或能譜儀）固定在所要測量的某元素特征X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描，便可得到該元素沿直線特征X射線強(qiáng)度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置，便可得到另一元素的X射線強(qiáng)度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像?？梢?，在Al2O3夾雜存在的地方，Al的X射線峰較強(qiáng)。徐匯區(qū)特制探針五星服務(wù)

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