關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:
? 在晶圓表面涂覆光刻膠,通過(guò)掩膜曝光、顯影,刻蝕出晶體管、電路等納米級(jí)結(jié)構(gòu)(如EUV光刻膠用于7nm以下制程)。
印刷電路板(PCB):
? 保護(hù)電路圖形或作為蝕刻抗蝕層,制作線路和焊盤(pán)。
顯示面板(LCD/OLED):
? 用于制備彩色濾光片、電極圖案等。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
? 加工微結(jié)構(gòu)(如傳感器、執(zhí)行器)。
工作原理(以正性膠為例)
1. 涂膠:在基材(如硅片)表面均勻旋涂光刻膠,烘干形成薄膜。
2. 曝光:通過(guò)掩膜版,用特定波長(zhǎng)光線照射,曝光區(qū)域的光敏劑分解,使樹(shù)脂變得易溶于顯影液。
3. 顯影:用顯影液溶解曝光區(qū)域,留下未曝光的光刻膠圖案,作為后續(xù)刻蝕或離子注入的掩蔽層。
4. 后續(xù)工藝:刻蝕基材(保留未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域),或去除光刻膠(剝離工藝)。
吉田半導(dǎo)體全流程解決方案,賦能客戶提升生產(chǎn)效率。山西光刻膠供應(yīng)商
公司嚴(yán)格執(zhí)行 ISO9001:2008 質(zhì)量管理體系與 8S 現(xiàn)場(chǎng)管理標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)工藝革新與設(shè)備升級(jí)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的低污染、低能耗。注塑廢氣、噴涂廢氣經(jīng)多級(jí)凈化處理后達(dá)標(biāo)排放,生活污水經(jīng)預(yù)處理后納入市政管網(wǎng),冷卻水循環(huán)利用率達(dá) 100%。危險(xiǎn)廢物(如廢機(jī)油、含油抹布)均委托專業(yè)機(jī)構(gòu)安全處置,一般工業(yè)固廢(如邊角料、廢包裝材料)則通過(guò)回收或再生利用實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)。
公司持續(xù)研發(fā)環(huán)保型材料,例如開(kāi)發(fā)水性感光膠替代傳統(tǒng)油性產(chǎn)品,降低有機(jī)溶劑使用量;優(yōu)化錫膏助焊劑配方,減少焊接過(guò)程中的煙霧與異味。此外,其 BGA 助焊膏采用低溫固化技術(shù),在提升焊接效率的同時(shí)降低能源消耗。通過(guò)與科研機(jī)構(gòu)合作,公司還在探索生物基材料在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用,為行業(yè)低碳發(fā)展提供新路徑。
浙江光刻膠國(guó)產(chǎn)廠商半導(dǎo)體材料選吉田,歐盟認(rèn)證,支持定制化解決方案!
吉田半導(dǎo)體厚板光刻膠 JT-3001:國(guó)產(chǎn)技術(shù)助力 PCB 行業(yè)升級(jí)
JT-3001 厚板光刻膠支持 500nm/min 深蝕刻,成為國(guó)產(chǎn) PCB 電路板制造推薦材料。
吉田半導(dǎo)體自主研發(fā)的 JT-3001 厚板光刻膠,分辨率 1.5μm,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,適用于高密度 PCB 制造。其無(wú)鹵無(wú)鉛配方通過(guò)歐盟 RoHS 認(rèn)證,已應(yīng)用于華為 5G 基站主板量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與全自動(dòng)化工藝,批次穩(wěn)定性達(dá) 99.5%,幫助客戶提升生產(chǎn)效率 20%,加速國(guó)產(chǎn) PCB 行業(yè)技術(shù)升級(jí),推動(dòng) PCB 行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
技術(shù)驗(yàn)證周期長(zhǎng)
半導(dǎo)體光刻膠的客戶驗(yàn)證周期通常為2-3年,需經(jīng)歷PRS(性能測(cè)試)、STR(小試)、MSTR(批量驗(yàn)證)等階段。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動(dòng)驗(yàn)證,預(yù)計(jì)2025年才能進(jìn)入穩(wěn)定供貨階段。
原材料依賴仍存
樹(shù)脂和光酸仍依賴進(jìn)口,如KrF光刻膠樹(shù)脂的單體國(guó)產(chǎn)化率不足10%。國(guó)內(nèi)企業(yè)需在“吸附—重結(jié)晶—過(guò)濾—干燥”耦合工藝等關(guān)鍵技術(shù)上持續(xù)突破。
未來(lái)技術(shù)路線
? 金屬氧化物基光刻膠:氧化鋅、氧化錫等材料在EUV光刻中展現(xiàn)出更高分辨率和穩(wěn)定性,清華大學(xué)團(tuán)隊(duì)已實(shí)現(xiàn)5nm線寬的原型驗(yàn)證。
? 電子束光刻膠:中科院微電子所開(kāi)發(fā)的聚酰亞胺基電子束光刻膠,分辨率達(dá)1nm,適用于量子芯片制造。
? AI驅(qū)動(dòng)材料設(shè)計(jì):華為與中科院合作,利用機(jī)器學(xué)習(xí)優(yōu)化光刻膠配方,研發(fā)周期縮短50%。
吉田技術(shù)研發(fā)與生產(chǎn)能力。
原料準(zhǔn)備
? 主要成分:樹(shù)脂(成膜劑,如酚醛樹(shù)脂、聚酰亞胺等)、感光劑(光引發(fā)劑或光敏化合物,如重氮萘醌、光刻膠單體)、溶劑(溶解成分,如丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA))、添加劑(調(diào)節(jié)粘度、感光度、穩(wěn)定性等,如表面活性劑、穩(wěn)定劑)。
? 原料提純:對(duì)樹(shù)脂、感光劑等進(jìn)行高純度精制(純度通常要求99.9%以上),避免雜質(zhì)影響光刻精度。
配料與混合
? 按配方比例精確稱量各組分,在潔凈環(huán)境,如萬(wàn)中通過(guò)攪拌機(jī)均勻混合,形成膠狀溶液。
? 控制溫度(通常20-30℃)和攪拌速度,避免氣泡產(chǎn)生或成分分解。
過(guò)濾與純化
? 使用納米級(jí)濾膜(孔徑0.05-0.2μm)過(guò)濾,去除顆粒雜質(zhì)(如金屬離子、灰塵),確保膠液潔凈度,避免光刻時(shí)產(chǎn)生缺陷。
性能檢測(cè)
? 物理指標(biāo):粘度、固含量、表面張力、分子量分布等,影響涂布均勻性。
? 化學(xué)指標(biāo):感光度、分辨率、對(duì)比度、耐蝕刻性,通過(guò)曝光實(shí)驗(yàn)和顯影測(cè)試驗(yàn)證。
? 可靠性:存儲(chǔ)穩(wěn)定性(常溫/低溫保存下的性能變化)、耐溫性(烘烤過(guò)程中的抗降解能力)。
包裝與儲(chǔ)存
? 在惰性氣體(如氮?dú)猓┉h(huán)境下分裝至避光容器(如棕色玻璃瓶或鋁罐),防止感光劑氧化或光分解。
? 儲(chǔ)存條件:低溫(5-10℃)、避光、干燥,部分產(chǎn)品需零下環(huán)境(如EUV光刻膠)。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用。成都阻焊光刻膠廠家
無(wú)鹵無(wú)鉛錫育廠家吉田,RoHS 認(rèn)證,為新能源領(lǐng)域提供服務(wù)!山西光刻膠供應(yīng)商
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司的產(chǎn)品體系豐富且功能強(qiáng)大。
在光刻膠領(lǐng)域,芯片光刻膠為芯片制造中的精細(xì)光刻環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵支持,確保芯片線路的精細(xì)刻畫(huà);
納米壓印光刻膠適用于微納加工,助力制造超精細(xì)的微納結(jié)構(gòu);
LCD 光刻膠則滿足液晶顯示面板生產(chǎn)過(guò)程中的光刻需求,保障面板成像質(zhì)量。
在電子焊接方面,半導(dǎo)體錫膏與焊片性能,能實(shí)現(xiàn)可靠的電氣連接,廣泛應(yīng)用于各類電子設(shè)備組裝。
靶材產(chǎn)品在材料濺射沉積工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用,通過(guò)精細(xì)控制材料沉積,為半導(dǎo)體器件制造提供高質(zhì)量的薄膜材料。憑借出色品質(zhì),遠(yuǎn)銷(xiāo)全球,深受眾多世界 500 強(qiáng)企業(yè)和電子加工企業(yè)青睞 。
山西光刻膠供應(yīng)商