眾所周知，微納米技術(shù)是我國貫徹落實“中國制造2025”和“中國創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術(shù)需求，是促進制造業(yè)高級化、綠色化、智能化的重要基礎(chǔ)?；谖矬w微米、納米尺度獨特的物理和化學特性，研制新材料、新工藝、新器件的微納制造技術(shù)，已經(jīng)成為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中心技術(shù)，必將對21世紀的航空、航天、信息科學、生命科學和健康保健、汽車工業(yè)、仿生機器人、交通、家具生活等領(lǐng)域產(chǎn)生深遠的影響。推進微納制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)化落地，探討產(chǎn)業(yè)化路徑，遴選優(yōu)良產(chǎn)業(yè)化示范項目。微納加工中，材料濕法腐蝕是一個常用的工藝方法。廣州鍍膜微納加工技術(shù)

目前微納制造領(lǐng)域較常用的一種微細加工技術(shù)是LIGA。這項技術(shù)由于可加工尺寸小、精度高，適合加工半導體材料，因而在半導體產(chǎn)業(yè)中得到普遍的應用，其較基礎(chǔ)的中心技術(shù)是光刻，即曝光和刻蝕工藝。隨著LIGA技術(shù)的發(fā)展，人們開發(fā)出了比較多種不同的曝光、刻蝕工藝，以滿足不同精度尺寸、生產(chǎn)效率等的需求。LIGA技術(shù)經(jīng)過多年的發(fā)展，工藝已經(jīng)相當成熟，但是這項技術(shù)的基本原理決定了它必然會存在的一些缺陷，比如工藝過程復雜、制備環(huán)境要求高（比如需要凈化間等）、設(shè)備投入大、生產(chǎn)成本高等。云南真空鍍膜微納加工代工在硅材料刻蝕當中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。

硅材料在MEMS器件當中是很重要的一種材料。在硅材料刻蝕當中，應用于醫(yī)美方向的硅針刻蝕需要用到各向同性刻蝕，縱向和橫向同時刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕，主要是在垂直方向刻蝕，而橫向盡量少刻蝕。微納加工平臺主要提供微納加工技術(shù)工藝，包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法腐蝕、干法腐蝕、表面形貌測量等。該平臺以積極靈活的方式服務于實驗室的研究課題，并產(chǎn)生高水平的研究成果，促進半導體器件的發(fā)展，成為國內(nèi)半導體器件技術(shù)與學術(shù)交流和人才培養(yǎng)的重要基地，同時為實驗室的學術(shù)交流、合作研究提供技術(shù)平臺和便利條件。

微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應用技術(shù)，涉及領(lǐng)域廣、多學科交叉融合，其較主要的發(fā)展方向是微納器件與系統(tǒng)（MEMS）。微納器件與系統(tǒng)是在集成電路制作上發(fā)展的系列**技術(shù)，研制微型傳感器、微型執(zhí)行器等器件和系統(tǒng)，具有微型化、批量化、成本低的鮮明特點，微納加工技術(shù)對現(xiàn)代的生活、生產(chǎn)產(chǎn)生了巨大的促進作用，并催生了一批新興產(chǎn)業(yè)。在Si片上形成具有垂直側(cè)壁的高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)是制備先進MEMS器件的關(guān)鍵工藝，其各向異性刻蝕要求非常嚴格。高深寬比的干法刻蝕技術(shù)以其刻蝕速率快、各向異性較強、污染少等優(yōu)點脫穎而出，成為MEMS器件加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件。

微納制造技術(shù)的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說，科研分為三個領(lǐng)域，一個是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，一個是工程化應用領(lǐng)域，一個是市場推廣領(lǐng)域。在發(fā)達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國家或機構(gòu)直接或間接支持的。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對于國家、民生或**的長遠意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎(chǔ)研究的機構(gòu)或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進行基礎(chǔ)、理論的研究。另一方面。工程化應用領(lǐng)域由專門的機構(gòu)或職能部門負責，這些部門從應用領(lǐng)域、生產(chǎn)領(lǐng)域、制造領(lǐng)域抽調(diào)**、學者及相關(guān)專業(yè)人員，對基礎(chǔ)研究的市場應用前景進行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業(yè)來進行工程化應用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了。中國的高校和研究機構(gòu)，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多，中國大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài)，各司其職，各負其責。微納技術(shù)是繼JT、生物之后。21世紀較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù)，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè)。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的、可升級的和適應性強的微納制造系統(tǒng)。浙江光電器件微納加工工廠

微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕、成膜、離子注入、晶圓鍵合等。廣州鍍膜微納加工技術(shù)

微納制造的加工材料多種多樣，相對金屬材料與硅和玻璃等無機材料而言，聚合物基材廉價易得且具有更好的生物兼容性、電絕緣隔離性、熱隔離性等性能。近年來，基于聚合物的微加工制造技術(shù)已成為微細加工中的又一研究熱點。大量學者對基于聚合物的微加工技術(shù)如微注射成型技術(shù)、微鑄造技術(shù)及微壓印技術(shù)進行了深入的研究。由于聚合物材料提供了相當普遍的物理及化學性質(zhì)，同時具有成本低及適用于大批量制造等眾多優(yōu)點，因而隨著微納米技術(shù)的不斷發(fā)展，聚合物材料在光學、化學、生物及微機電領(lǐng)域中獲得了越來越普遍的應用，不同微納結(jié)構(gòu)制品具有不同的性能與應用場合。廣州鍍膜微納加工技術(shù)