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江蘇無(wú)塵工業(yè)烤箱

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-03-24

HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸:1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。工業(yè)烤箱在社會(huì)上的重要性。江蘇無(wú)塵工業(yè)烤箱

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真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線路板受潮問(wèn)題。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤?。潔凈?jié)能氮?dú)夤竦倪^(guò)濾系統(tǒng):2.1EBM電子式EC馬達(dá)控制無(wú)塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。2.3特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計(jì),風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點(diǎn)輸出。2.5無(wú)段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過(guò)濾效果。2.7電力格:?jiǎn)蜗?20V50Hz0.95A,輸出功率150W。潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦墓耋w規(guī)格、配備:1.左右雙開(kāi)門(mén),3mm鋼化玻璃,1mm厚不銹鋼板,氣密式隱藏鎖把手。2.柜體密封高吸附力磁性膠條與柜體密閉,腳墊采高承載車(chē)輪及調(diào)整高低腳墊。3.附高載重不銹鋼隔板,柜體加裝高載重煞車(chē)輪。4.上掀式氣密蓋,方便FFU保養(yǎng)及維修。5.回風(fēng)循環(huán)設(shè)計(jì),單向氮?dú)庋h(huán)不產(chǎn)生紊流。6.背面氣密開(kāi)門(mén)式設(shè)計(jì),方便潔凈清理與保養(yǎng)。福州恒溫工業(yè)烤箱工業(yè)烤箱使用時(shí)的注意事項(xiàng)。

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下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下六腔體無(wú)塵烤箱。本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過(guò)濾部分,N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分:采用進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100;完善的控制系統(tǒng),及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報(bào)警,相序保護(hù),過(guò)載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門(mén)禁保護(hù)等

電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問(wèn)題,解決線路板受潮問(wèn)題。過(guò)濾系統(tǒng):2.1EBM電子式EC馬達(dá)控制無(wú)塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。2.3特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計(jì),風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點(diǎn)輸出。2.5無(wú)段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。2.6濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過(guò)濾效果。2.7電力規(guī)格:?jiǎn)蜗?20V50Hz0.95A,輸出功率150W。合肥真萍工業(yè)烤箱的運(yùn)用領(lǐng)域。

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箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過(guò)濾部分,N2 進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠**玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充,防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分:采用覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器。5風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100; 有哪些領(lǐng)域需要使用工業(yè)烤箱呢?江蘇無(wú)塵工業(yè)烤箱

合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對(duì)如今市場(chǎng)的影響。江蘇無(wú)塵工業(yè)烤箱

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