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來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-09-30

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1.采用智能型溫度控制模塊,PID自動(dòng)演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細(xì)度;2.分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果)3.內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4.整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門開關(guān)均采用智能控制,防止失誤動(dòng)作;5.當(dāng)實(shí)際檢測溫度超過超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。網(wǎng)帶爐定制生產(chǎn),價(jià)格從優(yōu)。

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一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min,在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。你知道網(wǎng)帶爐的特點(diǎn)嗎?蕪湖網(wǎng)帶爐

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