下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點(diǎn)1.后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī)2.降溫時風(fēng)機(jī)開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的存儲柜在社會上的重要性。生產(chǎn)存儲柜市場價格

一種存儲柜，包括：一在其一前部２Ａ上有一窗口２Ｂ的箱體２；一關(guān)閉和打開窗口２Ｂ的門３；一鎖住關(guān)閉了的門３的銷柱５；以及一在門鎖住的鎖住位置與門３解鎖的非鎖住位置之間移動銷柱５的銷柱移動件１０。銷柱５與箱體２配合的前部２Ａ的一寬度Ｌ３比從前壁伸出的一側(cè)壁的一寬度Ｌ５大。存儲柜一種存儲柜，包括：一在其一前部有一窗口的箱體；一關(guān)閉和打開窗口的門；至少一個鎖住關(guān)閉的門的銷柱；以及一個在門鎖住的鎖住位置和門解鎖的非鎖住位置之間移動銷柱的銷柱移動件，其特征在于：在其上銷柱與箱體配合的前部的一寬度比從此前部延伸出的一側(cè)壁的一寬度大。生產(chǎn)存儲柜有哪些品牌合肥真萍科技簡述存儲柜規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。

本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱，首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)檢測。真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱采用進(jìn)口液晶顯示控制器，產(chǎn)品采用綜合的電磁兼容設(shè)計和人性化的菜單設(shè)計，使得設(shè)備操作完全傻瓜化，控溫效果較好。高亮度寬視窗液晶顯示，示值清晰、直觀。微電腦智能控制。設(shè)定溫度和時間后，儀表自行控制加熱功率，并顯示加熱狀態(tài)，控溫精確而穩(wěn)定。超溫報警并自動切斷加熱電源。電器控制系統(tǒng)：1.電氣控制元器件均采用國內(nèi)品牌“正泰”2.電氣線路設(shè)計新穎，合理布線，安全可靠3.箱體頂部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修安全保護(hù)系統(tǒng)：1.超溫報警2.欠相缺相保護(hù)3.過電流保護(hù)4.快速熔斷器5.接地保護(hù)為什么大家都選擇合肥真萍科技的存儲柜，原因真萍告訴您。

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。真萍科技為您提供定制各種尺寸存儲柜。合肥化學(xué)品存儲柜

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