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來源: 發(fā)布時間:2021-11-03

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。存儲柜哪家便宜?合肥真萍告訴您。馬鞍山存儲柜報價

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