賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司2025-03-09

控制擴(kuò)散均勻性至關(guān)重要。首先，要確保擴(kuò)散爐內(nèi)溫度分布均勻，這需要高質(zhì)量的加熱元件和精細(xì)的溫度控制系統(tǒng)，使?fàn)t內(nèi)各位置溫度偏差控制在極小范圍內(nèi)。其次，POCl?蒸汽在爐內(nèi)的分布均勻性很關(guān)鍵。通過(guò)合理設(shè)計(jì)氣體輸送管道和流量控制系統(tǒng)，讓攜帶 POCl?蒸汽的氣體能均勻地覆蓋硅片表面。此外，硅片在爐內(nèi)的放置方式也有影響，一般采用專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的載具，保證硅片之間的間距均勻，避免相互遮擋，使每個(gè)硅片都能在相同的環(huán)境下進(jìn)行擴(kuò)散反應(yīng)，從而保證擴(kuò)散的均勻性。?

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