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如何正確操作氧化退火爐??

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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司2025-04-05

操作氧化退火爐前,要先檢查設(shè)備各部件是否正常,包括加熱元件有無(wú)損壞、氣體管道是否泄漏、溫度傳感器是否校準(zhǔn)等。然后,根據(jù)工藝要求設(shè)置好溫度控制系統(tǒng)的升溫速率、目標(biāo)溫度、保溫時(shí)間以及降溫速率等參數(shù),同時(shí)設(shè)置好氣體供應(yīng)系統(tǒng)的氣體種類(lèi)、流量和壓力。將待處理材料小心放置在爐內(nèi)載具上,關(guān)閉爐門(mén)。啟動(dòng)設(shè)備,讓其按照設(shè)定程序升溫、保溫和降溫。在運(yùn)行過(guò)程中,密切關(guān)注設(shè)備的溫度顯示、氣體流量等參數(shù),如有異常及時(shí)停機(jī)排查。設(shè)備運(yùn)行結(jié)束,待爐內(nèi)溫度降至安全范圍后,打開(kāi)爐門(mén)取出材料。整個(gè)操作過(guò)程需嚴(yán)格遵循操作規(guī)程,避免因操作不當(dāng)引發(fā)安全事故或影響材料處理質(zhì)量。?

賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
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簡(jiǎn)介:賽瑞達(dá)成立于2021年,專(zhuān)注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
簡(jiǎn)介: 賽瑞達(dá)成立于2021年,專(zhuān)注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
賽瑞達(dá)致力于成為半導(dǎo)體裝備的主導(dǎo)品牌。
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