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超純水用的LOOP管道如何殺菌清洗？

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蘇州道盛禾環(huán)?？萍加邢薰?/span>2025-04-05

半導(dǎo)體行業(yè)一般會采用雙氧水來對管道清洗滅菌，選擇的雙氧水需要電子級的純凈藥劑，水質(zhì)要求高的選用G4等級以上的雙氧水藥劑。

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