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石墨舟氮?dú)夤竦墓δ苁鞘裁矗?/h1>
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杭州宏譽(yù)智能科技有限公司2025-07-26

石墨舟氮?dú)夤駥?zhuān)為保護(hù)石墨舟及敏感材料設(shè)計(jì),主要應(yīng)用于光伏電池片鍍膜、半導(dǎo)體晶圓加工等場(chǎng)景。其功能包括: 惰性氣體保護(hù):通過(guò)持續(xù)注入高純度氮?dú)?,將柜?nèi)氧氣濃度控制在0.1%以下,有效防止石墨舟與硅片在高溫工藝中發(fā)生氧化反應(yīng),延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。 溫濕度調(diào)控:搭載智能恒溫系統(tǒng),可將溫度穩(wěn)定在±1℃范圍內(nèi),濕度控制在5%RH以下,確保材料存儲(chǔ)環(huán)境的一致性。 自動(dòng)化存取管理:支持機(jī)械臂或軌道式傳輸系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)石墨舟的無(wú)人化存取,減少人工干預(yù)帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn)。

杭州宏譽(yù)智能科技有限公司
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簡(jiǎn)介:專(zhuān)注于防潮防氧化設(shè)備、精密烘箱、設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備、智能安全存儲(chǔ)設(shè)備
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宏譽(yù)科技智能安全存儲(chǔ)設(shè)備
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