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半導(dǎo)體光刻車間對(duì)AMC(氣態(tài)分子污染物)有什么特殊要求？

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廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司2025-07-26

控制標(biāo)準(zhǔn)： 污染物類型 限值 酸類(如HF) ≤0.1 ppb 堿類(NH?) ≤1 ppb 有機(jī)物 ≤2 ppb 技術(shù)方案： 化學(xué)過(guò)濾器(ULPA+活性炭復(fù)合) 不銹鋼風(fēng)管電拋光(RA≤0.5μm)

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簡(jiǎn)介：廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司專注于廠房?jī)艋⒏咝C(jī)房和節(jié)能改造，擁有多學(xué)科專業(yè)團(tuán)隊(duì)，提供EPC總承包服務(wù)
簡(jiǎn)介： 廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司專注于廠房?jī)艋?、高效機(jī)房和節(jié)能改造，擁有多學(xué)科專業(yè)團(tuán)隊(duì)，提供EPC總承包服務(wù)
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手   機(jī)： 13678009965

網(wǎng)   址： http://gdcrjs.shop.88360.com

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廣東省潮州市湘橋區(qū)廣東省東莞市萬(wàn)江街道牌樓基教育路9號(hào)419室
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