杭州芯紀源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-07-26

使用標準樣件進行三維校準。選用已知尺寸的校準塊（如含0.1mm深刻槽的金屬塊），通過軟件“三點定位法”校準X/Y/Z軸。例如，校準Z軸時，將探頭聚焦于刻槽底部，調(diào)整軟件參數(shù)使圖像顯示深度與實際值一致，重復(fù)3次取平均值確保精度≤±1μm。

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