21世界，產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無塵室（亦稱潔凈室）：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。10000級無塵室方案
通常無塵室的氣流設(shè)計(jì)工藝為單向氣流，無塵室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)和擺放應(yīng)充分考慮到氣流的方向不被阻礙。無塵室既然是潔凈室，顧名思義它就是為了控制污染源，提高產(chǎn)品潔凈度而設(shè)計(jì)的高潔凈度生產(chǎn)車間。造成污染源的因素有很多，而人的因素是污染比較大的源頭，所以對人的行為等控制相對也會嚴(yán)格一些，當(dāng)然其它因素也是不容忽視的?？偠灾皇潜绕胀ōh(huán)境更加干凈的工作車間，并不會對人體造成任何威脅，要保證潔凈室的環(huán)境必須進(jìn)行嚴(yán)格控制，單單靠硬件工作是不夠的，外來的污染源頭也是我們在無塵室環(huán)境污染控制的重中之重！
10000級無塵室方案無塵室對我們有什么用？
有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨無塵室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)無塵室工程而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：(1)無塵室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大；(2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層；(3)自凈時(shí)間（恢復(fù)時(shí)間）的控制要求：無塵室中事故釋放或帶入污染物。
進(jìn)入無塵室的注意事項(xiàng)：一，進(jìn)入無塵室之前，必須要通知管理人，并通過基本的訓(xùn)練；二，進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙、吃東西，不可以帶外來物品進(jìn)去，并且嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及組團(tuán)聊天；三，進(jìn)入無塵室之前，必須要在規(guī)定的地方脫鞋，將鞋放在鞋柜中，外衣放在衣柜，私人物品放在私人柜子，而且柜子不可以放食物；四，進(jìn)入無塵室的時(shí)候必須要在更衣室換衣服，并且按照規(guī)矩穿戴好口罩、無塵帽、無塵衣以及鞋套；五，進(jìn)入無塵室要進(jìn)行酒精消毒等等。進(jìn)入無塵室前需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。
潔凈室是將一定空間范圍內(nèi)空氣中的塵埃粒子、微生物等污染物物理過濾，并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。 潔凈室的工作人員應(yīng)嚴(yán)格控制人數(shù)，無關(guān)人員、物品不得進(jìn)入潔凈室；工作人員不戴手表與珠寶首飾，不能用散發(fā)顆粒的化妝品；工作人員、維護(hù)管理人員進(jìn)入潔凈室應(yīng)嚴(yán)格執(zhí)行人身凈化程序；潔凈度工作區(qū)的人員不得相互隨意走動，必要聯(lián)系時(shí)應(yīng)經(jīng)凈化程序、更衣后才能進(jìn)入。 無塵室的等級分類及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)；東莞十萬級無塵室裝修
無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會用到。10000級無塵室方案
無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。10000級無塵室方案
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