Buffered Oxide Etch，BOE就是buffer oxide etch， B.O.E 緩沖蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（體積比）的成分混合而成?？涛g速度約10nm每秒。HF為主要的蝕刻液，NH4F則作為緩沖劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度，使之保持一定的蝕刻率。HF會(huì)浸蝕玻璃及任何含硅石的物質(zhì)，對皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕性，不小心被濺到，應(yīng)用大量水沖洗。

BOE（Buffered Oxide Etch），緩沖氧化物刻蝕液。由氫氟酸（49%）與水或氟化銨與水混合而成。 BOE蝕刻液的發(fā)展趨勢如何。河南專業(yè)BOE蝕刻液推薦廠家

通常用于金屬層蝕刻的銅酸蝕刻溶液主要成分為過氧化氫和一些添加劑；過氧化氫用于對金屬進(jìn)行氧化，而添加劑則主要將氧化物酸化成離子態(tài)，使其溶解于溶液中，并且維持蝕刻特性要求。由于過氧化氫同時(shí)具有氧化性和還原性，其可以將銅氧化，也可以被金屬離子催化發(fā)生歧化分解反應(yīng)，生成氧氣。如果此反應(yīng)速度過快，則會(huì)生熱乃至引起等安全事故。與此同時(shí)，二價(jià)銅離子也具有一定的氧化性，當(dāng)蝕刻時(shí)間較長，所述銅酸蝕刻溶液體系內(nèi)的銅離子含量較高時(shí)，溶液的蝕刻特性會(huì)發(fā)生變化，以至于蝕刻達(dá)不到要求，所述銅酸蝕刻溶液不能夠再進(jìn)行蝕刻，即達(dá)到蝕刻壽命?；谝陨蟽蓚€(gè)方面，過氧化氫體系的銅酸蝕刻溶液壽命較低，一般為當(dāng)銅酸溶液中銅離子的濃度達(dá)到4000-8000百萬分比濃度，則不能再使用。江蘇了解BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨使用BOE蝕刻液需要什么條件。

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