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浙江無機BOE蝕刻液訂做價格

來源: 發(fā)布時間:2025-05-23

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發(fā)明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權利要求14中任一項的組合物,特征在于,所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物,其包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點。8.權利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物,其包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點。10.制冷劑,特征在于,其包含前述權利要求中任一項的組合物。11.溶劑,特征在于,其包含權利要求19中任一項的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,該組合物可用作溶劑或制冷劑。BOE蝕刻液請認準蘇州博洋化學。

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    asícomoeldeinstalaciónypruebasdelosmismos,deacuerdoconunasnormasycóásustituirseporotrodehomologació)Normasdeaplicación:Enlosplanosseindicaránlasnormasdeaplicaciónutilizadasparalaclasificacióndelosemplazamientosasícomolaseleccióndelosmaterialeseléctricos,ándecobre,conaislamientodePVCycubiertaexternadePVCresistentealoshidrocarburosynopropagadoradelallama,segúónylasintensidadesmáximasestaráónmecánica,oquedispongandearmaduraabasedehilosdeacerogalvanizado,susecciónmínimapodráserde2,5milímetroscuadrados,paraalimentacionesdefuerza;paraalumbradoycontrol,tendránunasecciónmínimadeunmilíálculodelaseccióndeloscables,laintensidadadmisibledelosconductoresdeberádisminuirseenun15por100,ademásdeaplicarlosfactoresdecorreccióndependiendodelascaracterísticasdelainstalacióándisponerdeunaproteccióncontracortocircuitosycontrasobrecargassiéánconconductordeproteccióásicas,tresfasesyconductordeprotección,encircuitosmonofásicos,fase。博洋 BOE 蝕刻液聚焦微電子領域,憑借實力打造個性化解決方案,滿足微電子行業(yè)多樣化需求。電子級BOE蝕刻液主要作用

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    此處所描述的具體實施例用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。參照圖1,本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)包括:電解槽1、射流器2、再生液調配缸3、液體泵4,其中,電解槽1具有一出液口和出氣口,且電解槽1中內置有酸性蝕刻液,電解槽1對該酸性蝕刻液進行電解提銅,產生氯氣,得到電解后液,并且,產生的氯氣通過位于上方的出氣口排出,電解后液通過位于下方的出液口排出。射流器2包括混氣室21和擴散管22,混氣室21和擴散管22之間為喉管,混氣室21具有進氣口2a、進液口2b、出液口2c,擴散管22連接至出液口2c,進氣口2a通過導氣管a與電解槽1的出氣口連接以接收氯氣,擴散管22深入到再生液調配缸3中。再生液調配缸3具有進液口和循環(huán)出液口,進液口通過管道b與電解槽1的出液口連接以接收電解后液。液體泵4的一端通過管道b連接再生液調配缸3的循環(huán)出液口,另一端通過管道b連接射流器2的進液口2b,用于將再生液調配缸3中的電解后液通過管道b抽取至射流器2的進液口2b。電解槽1電解提銅后,陽極產生的氯氣通過導氣管a進入到射流裝置2的混氣室21內,電解后液通過液體泵4打入到射流裝置2的混氣室21,在混氣室21形成真空,在喉管處氯氣與電解后液劇烈混合。浙江無機BOE蝕刻液訂做價格

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