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浙江如何發(fā)展BOE蝕刻液聯(lián)系方式

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-30

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    其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中;液體泵,其一端通過(guò)管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,另一端通過(guò)管道連接所述射流器的進(jìn)液口,用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過(guò)所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:曝氣裝置,用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過(guò)所述再生液調(diào)配缸處理過(guò)的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進(jìn)一步地,所述電解槽的陽(yáng)極為石墨電極,陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進(jìn)一步地,所述電解槽中陰極與陽(yáng)極之間的距離為55mm。更進(jìn)一步地,所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了電解后廢液的再生利用,可節(jié)約能耗和藥品,提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖;圖2是本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解。BOE蝕刻液價(jià)格咨詢(xún),請(qǐng)聯(lián)系蘇州博洋化學(xué)。

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類(lèi)和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅M(jìn)行接觸角的測(cè)量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中。浙江如何發(fā)展BOE蝕刻液聯(lián)系方式

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