其擴散管深入到所述再生液調(diào)配缸中；液體泵，其一端通過管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口，另一端通過管道連接所述射流器的進液口，用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進液口。進一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置，用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進行攪拌。進一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過所述再生液調(diào)配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進一步地，所述電解槽的陽極為石墨電極，陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進一步地，所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進一步地，所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了電解后廢液的再生利用，可節(jié)約能耗和藥品，提高經(jīng)濟效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解。專業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學股份有限公司提供。湖南應用BOE蝕刻液私人定做

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

    sedispondrándeanillosderefuerzoennúánenelinteriordelasvirolasalasqueestánfijadosporsoldaduraenángulodiscontinua,concosturasalternadassobrelosdosladosdelalma,conunainterrupciónenlageneratrizinferiorparadarpasoallíquido,áncubrirnitotalniparcialmentelassoldaduras,ánconarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaatodololargodelasjuntas,asíánconunprocedimientohomologadoqueasegureunapenetracióntotal,consoldaduraporambascaras,oconprocedimientoshomologadosqueconsigaigualmenteunapenetracióóándemaneraquenoesténenlaprolongaciónlasunasdelasotras,conunasseparacionesmínimasde100milíánenlamitadsuperiordelosdepósitos,simétricamente,aunoyotroladodelplanoverticaldesimetríáformadapormáón,etc.,deberáencontrarseamenosde50milíóósitosnodeberásersuperiorenun3por100alacapacidadnominal,ámenesenfabricacióó).aSobreespesoresnominalesdelaschapasydelosfondos:segúnUNE36-559。請認準蘇州博洋化學股份有限公司。

    可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應用的情況下使用共沸物是特別有利的，以使組合物再生，例如當其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物，而沒有各組分的任何分餾。而且，2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點。因此，半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當在硫酸的存在下加熱半纖維素時，得到戊糖(含有5個碳原子的糖)，例如木糖。當進行木糖的熱脫水時，該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外，根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標準，閉杯閃點高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑。實驗部分實施例1通過使用沸點測定技術(shù)測量液體混合物的沸點。首先，將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點測定儀中，然后，使其沸騰。在達到平衡狀態(tài)之后，記錄在大氣壓下的沸點。然后，將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點測定儀中并且在已達到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。BOE蝕刻液應用于什么樣的場合？上海電子級BOE蝕刻液銷售廠

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