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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-06

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,進(jìn)行接觸角的測(cè)量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,BOE蝕刻液。

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    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權(quán)利要求14中任一項(xiàng)的組合物,特征在于,所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物,其包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。8.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物,其包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。10.制冷劑,特征在于,其包含前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的組合物。11.溶劑,特征在于,其包含權(quán)利要求19中任一項(xiàng)的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,該組合物可用作溶劑或制冷劑。BOE蝕刻液如何配置,歡迎咨詢。河南什么是BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨

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    此處所描述的具體實(shí)施例用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。參照?qǐng)D1,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)包括:電解槽1、射流器2、再生液調(diào)配缸3、液體泵4,其中,電解槽1具有一出液口和出氣口,且電解槽1中內(nèi)置有酸性蝕刻液,電解槽1對(duì)該酸性蝕刻液進(jìn)行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液,并且,產(chǎn)生的氯氣通過位于上方的出氣口排出,電解后液通過位于下方的出液口排出。射流器2包括混氣室21和擴(kuò)散管22,混氣室21和擴(kuò)散管22之間為喉管,混氣室21具有進(jìn)氣口2a、進(jìn)液口2b、出液口2c,擴(kuò)散管22連接至出液口2c,進(jìn)氣口2a通過導(dǎo)氣管a與電解槽1的出氣口連接以接收氯氣,擴(kuò)散管22深入到再生液調(diào)配缸3中。再生液調(diào)配缸3具有進(jìn)液口和循環(huán)出液口,進(jìn)液口通過管道b與電解槽1的出液口連接以接收電解后液。液體泵4的一端通過管道b連接再生液調(diào)配缸3的循環(huán)出液口,另一端通過管道b連接射流器2的進(jìn)液口2b,用于將再生液調(diào)配缸3中的電解后液通過管道b抽取至射流器2的進(jìn)液口2b。電解槽1電解提銅后,陽極產(chǎn)生的氯氣通過導(dǎo)氣管a進(jìn)入到射流裝置2的混氣室21內(nèi),電解后液通過液體泵4打入到射流裝置2的混氣室21,在混氣室21形成真空,在喉管處氯氣與電解后液劇烈混合。湖南BOE蝕刻液商家

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