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福建專業(yè)BOE蝕刻液溶劑

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-12

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,對比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時(shí)間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,進(jìn)行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對其厚度進(jìn)行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。上海無機(jī)BOE蝕刻液銷售廠家BOE蝕刻液的溶液配比。

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BOE蝕刻液的發(fā)展趨勢如何。福建專業(yè)BOE蝕刻液溶劑

    本實(shí)用新型屬于廢液處理領(lǐng)域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術(shù):酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液,隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,產(chǎn)生的廢液量越來越大,發(fā)掘的污染物種類也越來越多,對環(huán)境造成巨大的危害,此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生,我們需要對酸性蝕刻液進(jìn)行回收循環(huán)利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學(xué)或電化學(xué)的方法,但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補(bǔ)加子液和水來控制參數(shù),這樣污染大,影響環(huán)境,而且還會造成銅和酸的浪費(fèi)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題為如何通過簡單、低成本的技術(shù)實(shí)現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內(nèi)置有酸性蝕刻液,用于對所述酸性蝕刻液進(jìn)行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液;再生液調(diào)配缸,具有進(jìn)液口和循環(huán)出液口,所述進(jìn)液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進(jìn)氣口通過導(dǎo)氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。福建專業(yè)BOE蝕刻液溶劑

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