控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定真空度值,通過(guò)調(diào)節(jié)泵轉(zhuǎn)速、閥門開度等方式,精確控制氣體抽出速率,維持系統(tǒng)真空度穩(wěn)定在特定值。如在半導(dǎo)體制造設(shè)備中,需將真空度穩(wěn)定維持在10^-9Pa,控制系統(tǒng)會(huì)根據(jù)測(cè)量裝置反饋,實(shí)時(shí)調(diào)整分子泵轉(zhuǎn)速與相關(guān)閥門狀態(tài),保證生產(chǎn)過(guò)程中真空環(huán)境穩(wěn)定。低真空機(jī)組:對(duì)于低真空度要求(10^5-10^2Pa),常見配置為單級(jí)旋片泵或水環(huán)泵。如食品真空包裝機(jī),單級(jí)旋片泵通過(guò)旋片旋轉(zhuǎn)抽氣,將包裝腔內(nèi)空氣抽出,達(dá)到約-0.1MPa(接近10^5Pa)真空度,完成食品包裝。工作時(shí),泵持續(xù)運(yùn)行,保持包裝腔內(nèi)真空度穩(wěn)定,防止外界空氣進(jìn)入影響食品保質(zhì)期。華中真空設(shè)備是以科研、生產(chǎn)、銷售為一體的真空設(shè)備專業(yè)生產(chǎn)廠家。濱州水環(huán)羅茨真空機(jī)組
離子泵無(wú)油污染、極限真空度高,可達(dá)10^-7-10^-12Pa,適用于超高真空環(huán)境,如半導(dǎo)體制造中的光刻、電子顯微鏡等設(shè)備,但價(jià)格較高、抽氣速率相對(duì)較小。吸附泵利用多孔吸附劑材料(如分子篩、活性炭等)吸附氣體分子來(lái)降低空間內(nèi)氣體壓強(qiáng)。工作時(shí),吸附劑對(duì)不同氣體分子有選擇性吸附作用,將氣體分子捕獲在其孔隙表面。吸附泵常用于獲取中真空環(huán)境,范圍為10^3-10^-2Pa,在一些對(duì)真空度要求不高且需快速建立真空的場(chǎng)合應(yīng)用,如實(shí)驗(yàn)室小型真空系統(tǒng)。其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)運(yùn)動(dòng)部件、無(wú)油污染,但吸附容量有限,需定期再生吸附劑以維持性能。菏澤羅茨真空機(jī)組山東華中始終堅(jiān)持不懈的進(jìn)行著產(chǎn)品的研發(fā)與創(chuàng)新,注重產(chǎn)品的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
工作壓力相同但氣體類型不同時(shí),機(jī)組選型需針對(duì)性調(diào)整:可凝性氣體(水蒸氣、溶劑蒸氣),重點(diǎn)問題:氣體凝結(jié)會(huì)污染泵油或堵塞通道,導(dǎo)致抽速下降。選型策略:低中真空:優(yōu)先選干式螺桿泵(無(wú)油)或帶氣鎮(zhèn)的旋片泵(氣壓力≥蒸氣分壓),高真空:渦輪分子泵需配套冷阱(-80℃以下),避免蒸氣進(jìn)入泵體,禁忌:擴(kuò)散泵(蒸氣會(huì)污染擴(kuò)散泵油,3個(gè)月內(nèi)抽速可下降50%),腐蝕性氣體(酸霧、氯氣),重點(diǎn)問題:腐蝕泵體和密封件,導(dǎo)致泄漏率上升,選型策略:泵材質(zhì)選316L不銹鋼(耐腐蝕性優(yōu)于304)。
葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),水受離心力作用在泵體內(nèi)壁形成旋轉(zhuǎn)水環(huán),水環(huán)與葉輪輪轂間形成多個(gè)大小變化的密封腔。在吸氣側(cè),密封腔容積逐漸增大,壓強(qiáng)降低,氣體被吸入;在排氣側(cè),密封腔容積逐漸減小,氣體被壓縮,當(dāng)壓強(qiáng)高于大氣壓時(shí),氣體經(jīng)排氣口排出。水環(huán)泵能抽除大量可凝性蒸汽,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行可靠,常用于化工、造紙等行業(yè),可處理有腐蝕性、含固體顆粒的氣體,極限真空度受水的飽和蒸汽壓限制,一般為2000-4000Pa。擴(kuò)散泵利用高速油蒸氣或汞蒸氣射流攜帶氣體分子實(shí)現(xiàn)抽氣。華中真空設(shè)備貫徹并踐行“質(zhì)量是生命,信譽(yù)是保證”的經(jīng)營(yíng)原則,確保高質(zhì)量產(chǎn)品的同時(shí),誠(chéng)信服務(wù)客戶。
金屬材料表面通常會(huì)吸附一層水分子和氣體分子,在真空狀態(tài)下會(huì)逐漸釋放出來(lái);橡膠密封件也會(huì)緩慢釋放出一些有機(jī)氣體。為了減少材料放氣對(duì)較高真空度的影響,可以對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行烘烤除氣處理,通過(guò)加熱使材料釋放出更多的氣體,在抽氣過(guò)程中將其抽出;同時(shí),選擇放氣率低的材料(如不銹鋼、無(wú)氧銅等)作為真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料,也能有效降低氣體負(fù)載。此外,氣體的性質(zhì)也會(huì)影響抽氣效果。對(duì)于可凝性氣體(如水蒸氣、有機(jī)溶劑蒸氣等),在抽氣過(guò)程中容易凝結(jié)在管道和泵的內(nèi)部,形成液膜或固體沉積物,影響泵的抽氣性能和系統(tǒng)的密封性,從而降低較高真空度。因此,在處理可凝性氣體時(shí),通常需要在系統(tǒng)中增加冷凝捕集器或吸附裝置,將可凝性氣體去除。淄博華中真空設(shè)備有限公司通過(guò)提高企業(yè)中心競(jìng)爭(zhēng)力,為廣大客商提供良好服務(wù)。濱州水環(huán)羅茨真空機(jī)組
淄博華中真空設(shè)備有限公司堅(jiān)持把質(zhì)量管理作為工作重點(diǎn),嚴(yán)抓基礎(chǔ)管理。濱州水環(huán)羅茨真空機(jī)組
不同真空泵對(duì)氣體類型的適應(yīng)性差異明顯:水環(huán)泵適合抽除濕蒸氣,但無(wú)法處理有機(jī)溶劑;干式螺桿泵能應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體,卻在超高真空階段抽速不足;離子泵適用于超高真空下的微量氣體,卻完全不能處理大氣量抽氣。某化工企業(yè)用單一旋片泵抽除含氯氣體,3個(gè)月內(nèi)泵體腐蝕導(dǎo)致抽速下降60%,改用“羅茨泵+耐腐蝕螺桿泵”組合后問題得到解決。真空泵組合通過(guò)性能互補(bǔ),能突破單一泵的局限,形成“1+1>2”的系統(tǒng)效能:真空度范圍的連續(xù)覆蓋,組合機(jī)組可實(shí)現(xiàn)從大氣壓到超高真空的全范圍覆蓋:粗抽泵(如水環(huán)泵)負(fù)責(zé)10?-103Pa,中抽泵(如羅茨泵)銜接103-10?1Pa,主泵(如渦輪分子泵)處理<10?1Pa。這種接力式抽氣使系統(tǒng)能穩(wěn)定達(dá)到目標(biāo)真空度——航天模擬艙(目標(biāo)10??Pa)通過(guò)“水環(huán)泵+羅茨泵+渦輪分子泵”組合,實(shí)現(xiàn)了從大氣壓到超高真空的無(wú)縫過(guò)渡。濱州水環(huán)羅茨真空機(jī)組