本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點,F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發(fā)明。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家,安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。此外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液套件。剝離液的大概費用大概是多少?安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學領(lǐng)域,電學,生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ);诎雽(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應(yīng)等會造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。技術(shù)實現(xiàn)要素::為了克服上述技術(shù)問題,本發(fā)明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法。安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家蘇州性價比較好的剝離液的公司聯(lián)系電話。
例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實施例以下,舉出實施例對本發(fā)明進行詳細說明,但本發(fā)明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液!颈1】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制:rd-1225(sap用):25μm厚)實施從層壓到圖案曝光、顯影。向本基板以15μm厚實施鍍銅(jcu制:cu-britevl)后,切出50×50mm2作為試驗片。需要說明的是,該試驗片是在一片上具有以下的表2的l/s的圖案部分和黏性部分的試驗片。(2)圖案基板上殘留的抗蝕劑的評價方法上述評價方法中將噴涂運行時間固定在4分鐘,按照以下的評價基準評價l/s=20/20~40/40μm的圖案部分有無剝離殘渣。將其結(jié)果示于表2。<剝離殘渣的評價基準>(分數(shù))(內(nèi)容)1:無殘渣2:有極少量殘渣。
所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機(802),所述收卷驅(qū)動電機(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點膠頭(805),所述點膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱(9)下方安裝有熱風噴頭(10),所述熱風噴頭(10)下方安裝有干燥度感應(yīng)器(11),所述干燥度感應(yīng)器(11)下方安裝有電氣控制箱(12),所述電氣控制箱(12)上方安裝有液晶操作面板(13)。...【技術(shù)特征摘要】1.一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,其特征在于:包括主支撐架(1)、橫向支架。剝離液的主要成分是什么?
光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內(nèi)外研究人員所關(guān)注及研究,雖然在**網(wǎng)及技術(shù)網(wǎng)上對剝離液的闡述較少,但當前國內(nèi)與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚、3%的光刻膠和,F(xiàn)有技術(shù)***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機成分,回收得到的有機組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應(yīng)用。這種方法雖然流程簡便,但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過程中,光刻膠濃度達到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降,使溶劑回收效率大為降低,處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈,進而影響工藝操作效率。另外,美國專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設(shè)置過濾回收裝置,通過粗孔和細孔過濾器的兩步組合過濾法除去光刻膠,將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。 剝離液適用于哪些行業(yè)。浙江哪家蝕刻液剝離液私人定做
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所述防濺射擋板下方安裝有印刷輥,所述表面印刷結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)上方安裝有收卷調(diào)速器,所述收卷調(diào)速器一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機,所述收卷驅(qū)動電機一側(cè)安裝有輥固定架,所述輥固定架一側(cè)安裝有膠水盛放箱,所述膠水盛放箱下方安裝有點膠頭,所述點膠頭下方安裝有卷邊輥,所述卷邊輥一側(cè)安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應(yīng)器,所述干燥度感應(yīng)器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。進一步的,所述主支撐架與所述橫向支架通過螺栓連接,所述伺服變頻電機與所述電機減速箱通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述印刷品傳送帶與所述印刷品放置箱通過皮帶連接,所述電加熱箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。進一步的,所述油墨放置箱與所述油墨加壓器通過管道連接,所述油墨加壓器與所述高壓噴頭通過管道連接,所述印刷輥共有兩個,對稱設(shè)置,所述防濺射擋板與所述油墨放置箱焊接。進一步的,所述收卷調(diào)速器與所述收卷驅(qū)動電機通過導(dǎo)線連接,所述輥固定架與所述膠面收卷輥通過軸連接,所述膠水盛放箱與所述點膠頭通過管道連接。安徽銀蝕刻液剝離液推薦廠家
蘇州博洋化學股份有限公司是以高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的危險化學品生產(chǎn)(按《安全生產(chǎn)許可證》所列范圍明細生產(chǎn));化學品銷售(涉及危險化學品的按《危險化學品經(jīng)營許可》核定許可范圍經(jīng)營);自營和代理各類商品及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)(國家限定企業(yè)經(jīng)營或禁止進出口的商品和技術(shù)除外)。用于傳染病防治的消毒產(chǎn)品生產(chǎn)(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動)企業(yè),公司成立于1999-10-25,地址在高新區(qū)華橋路155號。至創(chuàng)始至今,公司已經(jīng)頗有規(guī)模。本公司主要從事高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液領(lǐng)域內(nèi)的高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產(chǎn)品的研究開發(fā)。擁有一支研發(fā)能力強、成果豐碩的技術(shù)隊伍。公司先后與行業(yè)上游與下游企業(yè)建立了長期合作的關(guān)系。博洋化學以符合行業(yè)標準的產(chǎn)品質(zhì)量為目標,并始終如一地堅守這一原則,正是這種高標準的自我要求,產(chǎn)品獲得市場及消費者的高度認可。蘇州博洋化學股份有限公司本著先做人,后做事,誠信為本的態(tài)度,立志于為客戶提供高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)解決方案,節(jié)省客戶成本。歡迎新老客戶來電咨詢。