對(duì)于高價(jià)值的晶圓產(chǎn)品，切割過(guò)程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設(shè)備內(nèi)置二維碼追溯系統(tǒng)，每片晶圓進(jìn)入設(shè)備后都會(huì)生成單獨(dú)的二維碼標(biāo)識(shí)，全程記錄切割時(shí)間、操作人員、工藝參數(shù)、檢測(cè)結(jié)果等信息，可通過(guò)掃碼快速查詢(xún)?nèi)鞒虜?shù)據(jù)，為質(zhì)量追溯與問(wèn)題分析提供完整依據(jù)。在晶圓切割的邊緣處理方面，中清航科突破傳統(tǒng)工藝限制，開(kāi)發(fā)出激光倒角技術(shù)。可在切割的同時(shí)完成晶圓邊緣的圓弧處理，倒角半徑可精確控制在 5-50μm 范圍內(nèi)，有效減少邊緣應(yīng)力集中，提高晶圓的機(jī)械強(qiáng)度。該技術(shù)特別適用于需要多次搬運(yùn)與清洗的晶圓加工流程。切割粉塵在線監(jiān)測(cè)中清航科傳感器精度達(dá)0.01μm顆粒物檢測(cè)。紹興碳化硅線晶圓切割劃片廠

在晶圓切割的邊緣檢測(cè)精度提升上，中清航科創(chuàng)新采用雙攝像頭立體視覺(jué)技術(shù)。通過(guò)兩個(gè)高分辨率工業(yè)相機(jī)從不同角度采集晶圓邊緣圖像，經(jīng)三維重建算法精確計(jì)算邊緣位置，即使晶圓存在微小翹曲，也能確保切割路徑的精確定位，邊緣檢測(cè)誤差控制在 1μm 以?xún)?nèi)，大幅提升切割良率。為適應(yīng)半導(dǎo)體工廠的能源管理需求，中清航科的切割設(shè)備配備能源監(jiān)控與分析系統(tǒng)。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備的電壓、電流、功率等能源參數(shù)，生成能耗分析報(bào)表，識(shí)別能源浪費(fèi)點(diǎn)并提供優(yōu)化建議。同時(shí)支持峰谷用電策略，可根據(jù)工廠電價(jià)時(shí)段自動(dòng)調(diào)整運(yùn)行計(jì)劃，降低能源支出。江蘇半導(dǎo)體晶圓切割中清航科切割機(jī)防震平臺(tái)隔絕0.1Hz振動(dòng)，保障切割穩(wěn)定性。

8 英寸晶圓在功率半導(dǎo)體、MEMS 等領(lǐng)域仍占據(jù)重要市場(chǎng)份額，中清航科針對(duì)這類(lèi)成熟制程開(kāi)發(fā)的切割設(shè)備，兼顧效率與性?xún)r(jià)比。設(shè)備采用雙主軸并行切割設(shè)計(jì)，每小時(shí)可加工 40 片 8 英寸晶圓，且通過(guò)優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)降低振動(dòng)噪聲至 65 分貝以下，為車(chē)間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)境，深受中小半導(dǎo)體企業(yè)的青睞。晶圓切割工藝的數(shù)字化轉(zhuǎn)型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設(shè)備內(nèi)置工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)模塊，可實(shí)時(shí)采集切割壓力、溫度、速度等 100 余項(xiàng)工藝參數(shù)，通過(guò)邊緣計(jì)算節(jié)點(diǎn)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析，生成工藝優(yōu)化建議?？蛻?hù)可通過(guò)云端平臺(tái)查看生產(chǎn)報(bào)表與趨勢(shì)分析，實(shí)現(xiàn)基于數(shù)據(jù)的精細(xì)化管理。

為幫助客戶(hù)應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)人才短缺問(wèn)題，中清航科推出 “設(shè)備 + 培訓(xùn)” 打包服務(wù)。購(gòu)買(mǎi)設(shè)備的客戶(hù)可獲得技術(shù)培訓(xùn)名額，培訓(xùn)內(nèi)容涵蓋設(shè)備操作、工藝調(diào)試、故障排除等，培訓(xùn)結(jié)束后頒發(fā)認(rèn)證證書(shū)。同時(shí)提供在線技術(shù)支持平臺(tái)，隨時(shí)解答客戶(hù)在生產(chǎn)中遇到的技術(shù)問(wèn)題。隨著半導(dǎo)體器件向微型化、集成化發(fā)展，晶圓切割的精度要求將持續(xù)提升。中清航科已啟動(dòng)亞微米級(jí)切割技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，計(jì)劃通過(guò)引入更高精度的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)與更短波長(zhǎng)的激光源，實(shí)現(xiàn) 500nm 以?xún)?nèi)的切割精度，為量子芯片、生物傳感器等前沿領(lǐng)域的發(fā)展提供關(guān)鍵制造設(shè)備支持。5G射頻芯片切割中清航科特殊工藝，金線偏移量＜0.8μm。

隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的快速變化，產(chǎn)品迭代周期不斷縮短，這對(duì)晶圓切割的快速響應(yīng)能力提出更高要求。中清航科建立了快速工藝開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，承諾在收到客戶(hù)新樣品后 72 小時(shí)內(nèi)完成切割工藝驗(yàn)證，并提供工藝報(bào)告與樣品測(cè)試數(shù)據(jù)，幫助客戶(hù)加速新產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)程，搶占市場(chǎng)先機(jī)。晶圓切割設(shè)備的操作安全性至關(guān)重要，中清航科嚴(yán)格遵循 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，在設(shè)備設(shè)計(jì)中融入多重安全保護(hù)機(jī)制。包括激光安全聯(lián)鎖、急停按鈕、防護(hù)門(mén)檢測(cè)、過(guò)載保護(hù)等，同時(shí)配備安全警示系統(tǒng)，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與潛在風(fēng)險(xiǎn)，確保操作人員的人身安全與設(shè)備的安全運(yùn)行。中清航科推出切割工藝保險(xiǎn)服務(wù)，承保因切割導(dǎo)致的晶圓損失。浙江12英寸半導(dǎo)體晶圓切割寬度

晶圓切割粉塵控制選中清航科靜電吸附系統(tǒng)，潔凈度達(dá)標(biāo)Class1。紹興碳化硅線晶圓切割劃片廠

中清航科原子層精切技術(shù)：采用氬離子束定位轟擊（束斑直徑2nm），實(shí)現(xiàn)石墨烯晶圓無(wú)損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm，電導(dǎo)率波動(dòng)控制在±0.5%，滿(mǎn)足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統(tǒng)通過(guò)在線粘度計(jì)與pH傳感器，實(shí)時(shí)調(diào)整冷卻液濃度（精度±0.1%）。延長(zhǎng)刀具壽命40%，減少化學(xué)品消耗30%，單線年省成本$12萬(wàn)。中清航科開(kāi)發(fā)振動(dòng)指紋庫(kù)：采集設(shè)備運(yùn)行特征頻譜，AI定位振動(dòng)源（如電機(jī)偏心/軸承磨損）。主動(dòng)抑制系統(tǒng)將振動(dòng)能量降低20dB，切割線寬波動(dòng)<±0.5μm。