超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米級甚至納米級的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些方法能夠?qū)崿F(xiàn)對硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學(xué)元件、微型機(jī)械、生物醫(yī)療器件等領(lǐng)域。常見的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進(jìn)行加工，能夠?qū)崿F(xiàn)對非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質(zhì)合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復(fù)雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學(xué)加工：通過電解作用去除材料，適用于加工微細(xì)、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的零件。超精密加工技術(shù)的發(fā)展對提高我國制造業(yè)的國際競爭力具有重要意義。激光超精密切割的加工特點(diǎn)是速度快，切口光滑平整，一般無需后續(xù)加工;切割熱影響區(qū)小，板材變形小。工業(yè)超精密噴嘴

通常，按加工精度劃分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm，公差等級在IT5以上的加工技術(shù)。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對概念，其間的界限將隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化，現(xiàn)在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進(jìn)底部，變成平滑表面看似現(xiàn)代科技的超精密加工，其實(shí)在上個(gè)世紀(jì)早已出現(xiàn)超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個(gè)階段：（1）20世紀(jì)50年代至80年代為技術(shù)開創(chuàng)期出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等技術(shù)發(fā)展的需要，美國率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。（2）20世紀(jì)80年代至90年代為民間工業(yè)應(yīng)用初期在相關(guān)機(jī)構(gòu)的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設(shè)備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學(xué)等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，并開始用于民間工業(yè)光學(xué)組件的制造。但當(dāng)時(shí)的超精密加工設(shè)備依然高貴而稀少，主要以特殊機(jī)的形式訂作。超硬超精密COF Bonding Tool激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工，慢慢擴(kuò)展到小尺寸、高精度的領(lǐng)域。

超精密加工的機(jī)理研究：包括微細(xì)加工機(jī)理研究；微觀表面完整性研究；在超精密范疇內(nèi)的對各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過程、現(xiàn)象、性能以及工藝參數(shù)進(jìn)行提示性研究1。超精密加工的設(shè)備制造技術(shù)研究：如納米級超精密車床工程化研究；超精密磨床研究；關(guān)鍵基礎(chǔ)件，像軸系、導(dǎo)軌副、數(shù)控伺服系統(tǒng)、微位移裝置等研究；超精密機(jī)床總成制造技術(shù)研究1。超精密加工工具及刃磨技術(shù)研究：例如金剛石刀具及刃磨技術(shù)、金剛石微粉砂輪及其修整技術(shù)研究1。超精密測量技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)研究：包含納米級基準(zhǔn)與傳遞系統(tǒng)建立；納米級測量儀器研究；空間誤差補(bǔ)償技術(shù)研究；測量集成技術(shù)研究1

超精密加工為了提升工藝的精細(xì)度，超精密加工會使用到高精度位置感測器(displacementsensor)、高階CNC(computernumericalcontrol)控制器等進(jìn)階設(shè)備。由于精度高的緣故，常應(yīng)用在光學(xué)元件，如：雷射干涉系統(tǒng)、光碟機(jī)的讀取透鏡、影印機(jī)與印表機(jī)用的fq鏡面、數(shù)位相機(jī)或手機(jī)相機(jī)的光學(xué)鏡頭等；也會應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)如：電腦硬碟、光纖固定與連接裝置、高精度射出或模造用模具…等。此外，航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學(xué)儀器等也會運(yùn)用超精密加工的技術(shù)。一旦產(chǎn)品圖紙形成后，馬上可以進(jìn)行超精密激光加工，你可以很快得到新產(chǎn)品的實(shí)物。

飛秒激光技術(shù)在超精密加工領(lǐng)域的應(yīng)用，如微機(jī)械加工、微電子制造等，其重點(diǎn)在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力，實(shí)現(xiàn)對材料的精細(xì)加工。超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米甚至納米級別的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、航空航天、精密模具、半導(dǎo)體和醫(yī)療器械等領(lǐng)域，能夠滿足高精度、高表面質(zhì)量的產(chǎn)品需求。超精密鉆孔技術(shù)是一種高精度加工方法，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級甚至亞微米級的加工精度。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、精密儀器等領(lǐng)域，主要用于加工微型孔、異形孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。其加工設(shè)備通常包括數(shù)控機(jī)床、激光鉆孔系統(tǒng)等，并采用特種刀具和特殊控制系統(tǒng)以確保加工質(zhì)量。超精密加工包括微細(xì)加工、超微細(xì)加工、光整加工、精整加工等加工技術(shù)。超快超精密異形孔

不受加工數(shù)量的限制，對于小批量加工服務(wù)，激光超精密加工更加便宜。工業(yè)超精密噴嘴

超精密加工技術(shù)，是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)主要的發(fā)展方向之一。在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關(guān)鍵技術(shù)。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施，則稱為超精加工技術(shù)。加之測量技術(shù)、環(huán)境保障和材料等問題，人們把這種技術(shù)總稱為超精工程。工業(yè)超精密噴嘴