雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好

工程測量：用于高精度的長度測量和地形測量。波譜分析：用于分析光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)。量子物理實驗：用于研究量子光學(xué)、原子物理學(xué)等領(lǐng)域的物理現(xiàn)象。五、發(fā)展歷史與現(xiàn)狀19世紀(jì)的波動論者認(rèn)為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性，以干涉原理為基礎(chǔ)的實驗**為精確，其中**有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。隨著激光器的發(fā)展，干涉儀開始使用激光作為光源，提高了測量的精度和穩(wěn)定性。到了20世紀(jì)70年代以后，隨著計算機技術(shù)的發(fā)展，將激光干涉儀和電子計算機綜合起來的許多新的干涉儀，可以實現(xiàn)實時測量。目前，干涉儀已經(jīng)成為一種重要的精密測量工具，在各個領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量，其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補償。雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應(yīng)，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠(yuǎn)距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好

在科學(xué)研究和工業(yè)檢測中，干涉儀是一種非常重要的工具。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好

多普勒效應(yīng)：當(dāng)測量鏡移動時，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米（μm）量級，細(xì)分后更可達(dá)到納米（nm）量級。應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。相城區(qū)附近雙頻激光干涉儀哪家好

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