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黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025-07-21

響應機械行業(yè)的環(huán)保要求,新巴頓分子泵軸承采用綠色制造工藝。熱處理工序使用真空淬火(無油煙排放),能耗較傳統(tǒng)鹽浴淬火降低 40%;包裝材料采用可降解塑料(降解率≥90%),減少白色污染。軸承潤滑脂采用生物基合成油(如聚 α- 烯烴 PAO),廢棄后可自然降解,符合歐盟 REACH 法規(guī)(SVHC 清單≤0.1%)。在工程機械的真空吸塵設備中,這種環(huán)保設計使整機的 EcoVadis 評級提升至銀級,滿足客戶的 ESG 合規(guī)需求,助力機械行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展目標。巴頓分子泵軸承——新能源領(lǐng)域的方案。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設計,以滿足機械行業(yè)對真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導體薄膜沉積設備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機械啟停的溫度波動中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設計使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機械工藝的真空度提供可靠保障。靜安區(qū)C1905HX205Y114DF分子泵軸承巴頓分子泵軸承:耐腐蝕,延長使用壽命。

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新巴頓針對機械行業(yè)的緊急需求,建立分子泵軸承的快速響應機制。常規(guī)型號(如 6007、7205AC)庫存達 500 套以上,下單后 24 小時內(nèi)發(fā)貨;定制型號通過模塊化設計,縮短交貨周期至 15-20 天,比行業(yè)平均周期(30-45 天)提升 50%。在機械制造集中的區(qū)域(如長三角、珠三角)設立倉庫,通過 VMI(供應商管理庫存)模式為大型機械企業(yè)提供寄售服務,庫存周轉(zhuǎn)率達 12 次 / 年,降低用戶的庫存成本。這種供貨效率可減少機械行業(yè)的停機等待時間,尤其適用于緊急維修場景,保障生產(chǎn)連續(xù)性。

推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動不超過 5nm,滿足光學薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導致的應力集中,使軸向載荷均勻分布。摩擦系數(shù)低至 0.002,新巴頓分子泵軸承提升機械能效,降低能耗。

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隨著半導體制程向 3nm 以下演進,分子泵軸承正朝超高速、低功耗方向發(fā)展。新巴頓研發(fā)的 SiC 陶瓷軸承,其熱導率(400W/m?K)是氧化鋯陶瓷的 10 倍,可將軸承溫升控制在 15℃以內(nèi),適配 20 萬轉(zhuǎn) / 分鐘的超高速分子泵。同時,基于仿生學的表面織構(gòu)技術(shù),在滾道表面加工微米級凹坑儲油槽,使?jié)櫥侍嵘?30%,有望實現(xiàn)全壽命免維護。此外,公司正在開發(fā)的智能軸承,內(nèi)置微型傳感器,可實時傳輸溫度、振動、載荷數(shù)據(jù),通過邊緣計算實現(xiàn)故障預警,推動分子泵系統(tǒng)向預測性維護升級。這些技術(shù)創(chuàng)新將助力我國真空裝備在半導體、新能源等領(lǐng)域的國產(chǎn)化突破。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新材料,提高耐磨性。浦東新區(qū)巴頓2M4TGTY60分子泵軸承

額定載荷經(jīng)精確計算,新巴頓分子泵軸承滿足機械不同工況的負載需求。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對軸承的動態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導性提出嚴苛標準。在半導體制造中,分子泵軸承需維持納米級制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設計,使軸承在高速運轉(zhuǎn)時的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導體設備 24 小時連續(xù)運行的可靠性要求。黃浦區(qū)C1906HX205Y24DF分子泵軸承

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