MEMS制作工藝-聲表面波器件的原理: 聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個(gè)聲一電換能器一叉指換能器。所謂叉指換能器就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案,它的作用是實(shí)現(xiàn)聲一電換能。聲表面波SAW器件的工作原理是,基片左端的換能...
MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測: 光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機(jī)理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號(hào)的探測技術(shù)。如要對(duì)THz脈沖信號(hào)進(jìn)行探測,首先,需將一個(gè)未加偏置電壓的P...
MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點(diǎn): 1.聲表面波具有極低的傳播速度和極短的波長,它們各自比相應(yīng)的電磁波的傳播速度的波長小十萬倍。在VHF和UHF波段內(nèi),電磁波器件的尺寸是與波長相比擬的。同理,作為電磁器件的聲學(xué)模擬聲表面波器件SAW,它的尺寸也是...
MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,把自動(dòng)化、智能化和可靠性水平提高到一個(gè)新的水平。21世紀(jì)MEMS將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向?qū)嵱没?..
MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù): 太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段,太赫茲波探測對(duì)提升人類認(rèn)知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機(jī)是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)...
MEMS繼電器與開關(guān)。其優(yōu)勢是體積小(密度高,采用微工藝批量制造從而降低成本),速度快,有望取代帶部分傳統(tǒng)電磁式繼電器,并且可以直接與集成電路IC集成,極大地提高產(chǎn)品可靠性。其尺寸微小,接近于固態(tài)開關(guān),而電路通斷采用與機(jī)械接觸(也有部分產(chǎn)品采用其他通斷方式),...
微機(jī)電系統(tǒng)是微米大小的機(jī)械系統(tǒng),其中也包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之間。在這個(gè)大小范圍中日常的物理經(jīng)驗(yàn)往往不適用。比如由于微機(jī)電系統(tǒng)的面積對(duì)體積比比一般日常生活中的機(jī)械系統(tǒng)要大得多,其表面現(xiàn)象如靜電、潤濕等比體積現(xiàn)象如慣...
微流控芯片反應(yīng)信號(hào)的收集和分析的難題:由于反應(yīng)體系較小,故而只產(chǎn)生較低的信號(hào)強(qiáng)度,如何收集并分析芯片中產(chǎn)生的信號(hào),是微流控芯片研究的另一項(xiàng)重點(diǎn),因此,微流控芯片大多需要龐大的信號(hào)讀取和分析設(shè)備。近年來便攜性、自動(dòng)化、敏感的新型微流控芯片讀取設(shè)備受到科研人員關(guān)注...
微流控芯片的常見故障及預(yù)防措施:泄漏:微流控芯片中的微通道和閥門等部件容易發(fā)生泄漏,應(yīng)注意密封性和連接的可靠性。堵塞:微流控芯片中的微通道可能會(huì)因?yàn)槲⒘;驓馀莸亩氯鴮?dǎo)致流體無法正常流動(dòng),應(yīng)注意樣品的凈化和操作的規(guī)范性。漂移:由于溫度、壓力等原因,微流控芯片中...
微流控芯片的常見故障及預(yù)防措施:泄漏:微流控芯片中的微通道和閥門等部件容易發(fā)生泄漏,應(yīng)注意密封性和連接的可靠性。堵塞:微流控芯片中的微通道可能會(huì)因?yàn)槲⒘;驓馀莸亩氯鴮?dǎo)致流體無法正常流動(dòng),應(yīng)注意樣品的凈化和操作的規(guī)范性。漂移:由于溫度、壓力等原因,微流控芯片中...
MEMS超表面對(duì)特性的調(diào)控: 1.超表面meta-surface對(duì)偏振的調(diào)控:在偏振方面,超表面可實(shí)現(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換、旋光、矢量光束產(chǎn)生等功能。 2.超表面meta-surface對(duì)振幅的調(diào)控。超表面可以實(shí)現(xiàn)光的非對(duì)稱透過、消反射、增透射、磁鏡、類E...
MEMS制作工藝柔性電子: 柔性電子(Flexible Electronics)是一種技術(shù)的通稱,是將有機(jī)/無機(jī)材料電子器件制作在柔性/可延性基板上的新興電子技術(shù)。相對(duì)于傳統(tǒng)電子,柔性電子具有更大的靈活性,能夠在一定程度上適應(yīng)不同的工作環(huán)境,滿足設(shè)備...
MEMS具有以下幾個(gè)基本特點(diǎn),微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)。MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。 MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子技...
微機(jī)電系統(tǒng)是微米大小的機(jī)械系統(tǒng),其中也包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之間。在這個(gè)大小范圍中日常的物理經(jīng)驗(yàn)往往不適用。比如由于微機(jī)電系統(tǒng)的面積對(duì)體積比比一般日常生活中的機(jī)械系統(tǒng)要大得多,其表面現(xiàn)象如靜電、潤濕等比體積現(xiàn)象如慣...
MEMS技術(shù)的主要分類:傳感MEMS技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來感受轉(zhuǎn)換電信號(hào)的器件和系統(tǒng)。它包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學(xué)等各種傳感器,按種類分主要有:面陣觸覺傳感器、...
MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些? 2、汽車MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,再以...
MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些? 2、汽車MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,再以...
MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點(diǎn): 3.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導(dǎo)體平面工藝制作的,所以它具有很好的一致性和重復(fù)性,易于大量生產(chǎn),而且當(dāng)使用某些單晶材料或復(fù)合材料時(shí),聲表面波器件具有極高的溫度穩(wěn)定性。 4.聲表面波器件的抗輻射能力...
MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù): 太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段,太赫茲波探測對(duì)提升人類認(rèn)知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機(jī)是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)...
智能手機(jī)迎5G換機(jī)潮,傳感器及RFMEMS用量逐年提升。一方面,5G加速滲透,拉動(dòng)智能手機(jī)市場恢復(fù)增長:今年10月份國內(nèi)5G手機(jī)出貨量占比已達(dá)64%;智能手機(jī)整體出貨量方面,在5G的帶動(dòng)下,根據(jù)IDC今年的預(yù)測,2021年智能手機(jī)出貨量相比2020年將增長11...
MEMS制作工藝-太赫茲傳感器: 太赫茲(THz)波憑借其可以穿透大多數(shù)不透光材料的特點(diǎn),在對(duì)材料中隱藏物體和缺陷的無損探測方面具有明顯的優(yōu)勢。然而,由于受到成像速度和分辨率的束縛,現(xiàn)有的太赫茲探測系統(tǒng)面臨著成像通量和精度的限制。此外,使用大陣列像素...
基于MEMS技術(shù)的SAW器件: 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,是種用聲表面波器件作為傳感元件,將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的傳感器。 聲表面波傳感...
MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW: 聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?,它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進(jìn)行傳播。它是聲學(xué)和電子學(xué)相結(jié)合的一門邊緣學(xué)科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍,而且在它的傳播路徑上容易取樣...
MEMS制作工藝-微流控芯片: 微流控芯片技術(shù)(Microfluidics)是把生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)分析過程的樣品制備、反應(yīng)、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上, 自動(dòng)完成分析全過程。 微流控芯片(microfluidic chip...
MEMS制作工藝柔性電子的領(lǐng)域: 隨著電子設(shè)備的發(fā)展,柔性電子設(shè)備越來越受到大家的重視,這種設(shè)備是指在存在一定范圍的形變(彎曲、折疊、扭轉(zhuǎn)、壓縮或拉伸)條件下仍可工作的電子設(shè)備。 柔性電子涵蓋有機(jī)電子、塑料電子、生物電子、納米電子、印刷電子等,...
MEMS制作工藝-聲表面波器件的原理: 聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個(gè)聲一電換能器一叉指換能器。所謂叉指換能器就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案,它的作用是實(shí)現(xiàn)聲一電換能。聲表面波SAW器件的工作原理是,基片左端的換能...
MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些? 運(yùn)動(dòng)追蹤在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測量,通過基于聲學(xué)TOF,或者基于光學(xué)的TOF技術(shù),對(duì)每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄,教練們對(duì)結(jié)果分析,反復(fù)比較,以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)...
基于MEMS技術(shù)的SAW器件: 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器,是種用聲表面波器件作為傳感元件,將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的傳感器。 聲表面波傳感...
大部分用戶對(duì)汽車、打印機(jī)內(nèi)的MEMS無感,這些器件與用戶中間經(jīng)過了數(shù)層中介。但是可穿戴/直接與用戶接觸,提升消費(fèi)者科技感,更受年輕用戶喜愛,例子可見Fitbit等健身手環(huán)。該領(lǐng)域重要的主要有三大塊:消費(fèi)、健康及工業(yè),我們?cè)诖酥饕懻摳荜P(guān)注的前兩者。消費(fèi)領(lǐng)域的...
MEMS的采樣精度,速度,適用性都可以達(dá)到較高水平,同時(shí)由于其體積優(yōu)勢可直接植入人體,是醫(yī)療輔助設(shè)備中關(guān)鍵的組成部分。傳統(tǒng)大型醫(yī)療器械優(yōu)勢明顯,精度高,但價(jià)格昂貴,普及難度較大,且一般一臺(tái)設(shè)備只完成單一功能。相比之下,某些醫(yī)療目標(biāo)可以通過MEMS技術(shù),利用其體...