在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會破壞內(nèi)部電路和引線,導致無法進行電動態(tài)分析,適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結(jié)構(gòu)的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優(yōu)點是開封過程不會損壞內(nèi)部電路和引線,開封后仍可進行電動態(tài)分析,能為失效分析提供更豐富的動態(tài)數(shù)據(jù)。自動法則是利用硫酸噴射實現(xiàn)局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。
熱紅外顯微鏡在 3D 封裝檢測中,通過熱傳導分析確定內(nèi)部失效層 。無損熱紅外顯微鏡應(yīng)用
選擇熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 設(shè)備時,需緊密圍繞實際應(yīng)用需求進行綜合評估。若檢測對象為半導體芯片、晶圓,應(yīng)重點關(guān)注設(shè)備的空間分辨率(推薦≤1μm)和溫度靈敏度(≤0.01℃);針對 3D 封裝器件,支持鎖相熱成像技術(shù)的設(shè)備能更好地實現(xiàn)深度定位;而 PCB/PCBA 檢測,則需要兼顧大視野與高精度掃描能力。在技術(shù)指標層面,InSb 材質(zhì)的探測器靈敏度出色,適合半導體缺陷檢測,非制冷型氧化釩探測器雖成本較低,但分辨率相對有限;鎖相熱成像技術(shù)可提升信噪比,并實現(xiàn) 3D 空間的深度定位;同時,偏置系統(tǒng)的電壓電流范圍、EMMI 與熱成像融合功能以及 AI 輔助分析能力,也都是衡量設(shè)備性能的關(guān)鍵要素。佛山熱紅外顯微鏡熱紅外顯微鏡采用先進的探測器,實現(xiàn)對微小熱量變化的快速響應(yīng) 。
當電子設(shè)備中的某個元件發(fā)生故障或異常時,常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器,能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯(lián)激光器等先進技術(shù),或其他高性能紅外傳感方案,具備寬溫區(qū)、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析,熱紅外顯微鏡能夠?qū)㈦娮釉O(shè)備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現(xiàn),直觀展現(xiàn)熱點區(qū)域的位置、尺寸及溫度變化趨勢,從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點,實現(xiàn)高效可靠的故障排查。
熱紅外顯微鏡與光學顯微鏡雖同屬微觀觀測工具,但在原理、功能與應(yīng)用場景上存在明顯差異,尤其在失效分析等專業(yè)領(lǐng)域各有側(cè)重。
從工作原理看,光學顯微鏡利用可見光(400-760nm 波長)的反射或透射成像,通過放大樣品的物理形態(tài)(如結(jié)構(gòu)、顏色、紋理)呈現(xiàn)細節(jié),其主要是捕捉 “可見形態(tài)特征”;而熱紅外顯微鏡則聚焦 3-10μm 波長的紅外熱輻射,通過檢測樣品自身發(fā)射的熱量差異生成熱分布圖,本質(zhì)是捕捉 “不可見的熱信號”。
在主要功能上,光學顯微鏡擅長觀察樣品的表面形貌、結(jié)構(gòu)缺陷(如裂紋、變形),適合材料微觀結(jié)構(gòu)分析、生物樣本觀察等;熱紅外顯微鏡則專注于微觀熱行為解析,能識別因電路缺陷、材料熱導差異等產(chǎn)生的溫度異常,即使是納米級的微小熱點(如半導體芯片的漏電區(qū)域)也能精確捕捉,這是光學顯微鏡無法實現(xiàn)的。
從適用場景來看,光學顯微鏡是通用型觀測工具,廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科研、教學等領(lǐng)域;而熱紅外顯微鏡更偏向?qū)I(yè)細分場景,尤其在半導體失效分析中,可定位短路、虛焊等隱性缺陷引發(fā)的熱異常,在新材料研發(fā)中能分析不同組分的熱傳導特性,為解決 “熱相關(guān)問題” 提供關(guān)鍵依據(jù)。 熱紅外顯微鏡在電子產(chǎn)品研發(fā)階段,輔助優(yōu)化熱管理方案 。
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號的精密儀器,其優(yōu)勢在于對材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。
然而,在面對微弱熱信號(如納米尺度結(jié)構(gòu)的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等)時,傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾,難以實現(xiàn)精細測量。鎖相熱成像技術(shù)的引入,為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關(guān)鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術(shù)的賦能,熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級為 “可測” 納米級熱特性,為微觀尺度熱科學研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 熱紅外顯微鏡突破光學衍射極限,以納米級分辨率呈現(xiàn)樣品微觀結(jié)構(gòu)與熱特性。自銷熱紅外顯微鏡廠家
熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率,助力復(fù)雜半導體失效分析 。無損熱紅外顯微鏡應(yīng)用
在國內(nèi)失效分析設(shè)備領(lǐng)域,專注于原廠研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)數(shù)量相對較少,尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領(lǐng)域,具備自主技術(shù)積累的原廠更為稀缺。這一現(xiàn)狀既源于技術(shù)門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術(shù),也受限于市場需求的專業(yè)化程度,導致多數(shù)企業(yè)傾向于代理或集成方案。
致晟光電正是國內(nèi)少數(shù)深耕該領(lǐng)域的原廠之一。不同于單純的設(shè)備組裝,其從中樞技術(shù)迭代入手,在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎(chǔ)上進化出熱紅外顯微鏡,形成從光學系統(tǒng)設(shè)計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內(nèi)半導體、材料等行業(yè)的失效分析需求,例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產(chǎn)新材料的熱特性研究等場景,提供更貼合實際應(yīng)用的設(shè)備與技術(shù)支持,成為本土失效分析領(lǐng)域不可忽視的自主力量。 無損熱紅外顯微鏡應(yīng)用
蘇州致晟光電科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在江蘇省等地區(qū)的機械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為行業(yè)的翹楚,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業(yè)精神將引領(lǐng)蘇州致晟光電科技供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,我們一直在路上!