單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(zhǎng)(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀求購(gòu)

利用激光干涉儀的線性測(cè)長(zhǎng)功能，不但能夠測(cè)量出數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對(duì)精度進(jìn)行補(bǔ)償。還能幫助我們利用檢測(cè)圖形和數(shù)據(jù)，來(lái)分析數(shù)控機(jī)床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法，從而迅速恢復(fù)機(jī)床，縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間，提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀是根據(jù)光學(xué)干涉基本原理設(shè)計(jì)而成的。具體到API激光干涉儀，即激光器射出單一頻率波，當(dāng)此光束抵達(dá)偏振分光鏡時(shí)，會(huì)被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束)，在這兩道光射向其反光鏡，然后透過(guò)分光鏡反射回去，在激光頭內(nèi)的探測(cè)器形成一道干涉光束，若光程差沒(méi)有任何變化，探測(cè)器會(huì)在每一次光程改變時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極找到變動(dòng)的信號(hào)。計(jì)算處理系統(tǒng)可以通過(guò)此變化來(lái)測(cè)量?jī)晒獬涕g差異變化。上海數(shù)控軸垂直度激光干涉儀加工生產(chǎn)激光干涉儀具有有平面度測(cè)量組件、直線度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等。

隨著光學(xué)產(chǎn)品的快速發(fā)展，從高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等大眾消費(fèi)產(chǎn)品，無(wú)不與光學(xué)息息相關(guān)，推動(dòng)了光學(xué)研究和光學(xué)加工的快速發(fā)展，同時(shí)也光學(xué)檢測(cè)手段提出了更高的要求，也正因?yàn)槿绱?，激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢(mèng)想與追求，擁有一臺(tái)激光干涉儀，就擁有世界先進(jìn)的檢測(cè)手段，就擁有令人信服的檢測(cè)結(jié)果，就能證明可以生產(chǎn)先進(jìn)的產(chǎn)品。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他需要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合。

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實(shí)際使用過(guò)程中還是需要另外配置一些輔助工具：研制低高度云臺(tái)支架。部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的，那么測(cè)量Z軸時(shí)，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái)安放激光器于地面，則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母叨?，損失測(cè)量范圍。磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(gè)(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測(cè)量時(shí)，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。

激光干涉儀組件：要測(cè)量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測(cè)量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺(tái)、XC環(huán)境補(bǔ)償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測(cè)量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測(cè)量軟件的計(jì)算機(jī)。激光干涉儀工作原理多普勒效應(yīng)（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng)，會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。激光干涉儀的測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。江蘇品質(zhì)激光干涉儀

激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢(shì)。激光干涉儀求購(gòu)

激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測(cè)?？捎糜跈z測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較佳精度，另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。激光干涉儀求購(gòu)