技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或聚酯樹(shù)膠絨毛。

可選地，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 其特征在于：所述機(jī)械臂包括內(nèi)部具有真空腔體的鋁合金平板.汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。

中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動(dòng)速度為啟動(dòng)，由常速減到停止不動(dòng)為制動(dòng)，速度的變化過(guò)程為速度特性曲線。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高速度和高精度，能夠滿足封裝和測(cè)試過(guò)程中對(duì)運(yùn)輸速度和精度的要求。光刻和薄膜沉積：在光刻和薄膜沉積過(guò)程中，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序。它能夠?qū)⒕A準(zhǔn)確地吸附在機(jī)械臂上，并將其運(yùn)送到光刻機(jī)或薄膜沉積設(shè)備上，以完成后續(xù)的光刻和薄膜沉積工作。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能，能夠確保光刻和薄膜沉積過(guò)程中的精確定位和穩(wěn)定運(yùn)輸。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著重要的角色。它的應(yīng)用范圍廣，能夠滿足不同工序的晶圓運(yùn)輸需求。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度、高速度和穩(wěn)定性能，能夠提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的應(yīng)用前景將更加廣闊。

傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測(cè)方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測(cè)量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo)。陀螺儀則用于監(jiān)測(cè)吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化，幫助控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)整運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，確保吸臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)和準(zhǔn)確。激光傳感器可以對(duì)周圍環(huán)境進(jìn)行掃描和測(cè)距，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場(chǎng)景中避開(kāi)障礙物，實(shí)現(xiàn)安全的晶圓搬運(yùn)。手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng)，慣性要小.

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對(duì)較低。后者將晶圓從預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高。臂應(yīng)承載能力大、剛性好、自重輕.中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢

而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差，當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí)，手臂伸出越長(zhǎng)，其誤差越大；汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

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