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安徽自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-02-26

晶圓激光劃片機(jī)必須具備一下幾個(gè)優(yōu)勢(shì):1、一定要有效率,高速高效是減少企業(yè)耗資的根本。要高精度、快速度、性能優(yōu)越的特點(diǎn)。2、聽(tīng)說(shuō)采用的都是泵浦激光調(diào)Q的YAG激光器系統(tǒng)或綠激光作為工作光源,而且還是統(tǒng)一由計(jì)算機(jī)控制二維工作臺(tái)的**設(shè)備,可進(jìn)行曲線及直線的切割。我們希望的高配置的**技術(shù)設(shè)備。價(jià)格要對(duì)得起光纖激光劃片機(jī)的功能。3、另外對(duì)設(shè)備自身有些小小的要求,就是必須達(dá)到無(wú)污染、噪音低、性能穩(wěn)定可靠等優(yōu)點(diǎn)。超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備。歡迎詢價(jià)。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備有什么特點(diǎn)?無(wú)錫超通智能告訴您。安徽自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

由于碳化硅自然界中擁有多態(tài)(Polymorphs),例如3C-SiC,4H-SiC,6H-SiC等,其中六方晶系的碳化硅理論上有無(wú)數(shù)種多態(tài)可能性。目前行業(yè)內(nèi)選用的碳化硅多態(tài)為4H-SiC。為了獲得想要的低缺陷4H-SiC,SiC晶圓通常需要以4°偏軸在種子晶格上進(jìn)行晶錠生長(zhǎng)。因此,在切割垂直晶圓平邊的方向時(shí),裂紋會(huì)與C面軸向[0001]產(chǎn)生4°偏角。使用普通激光切割設(shè)備進(jìn)行切割時(shí),4°的偏角會(huì)使材料裂開(kāi)變得困難,從而使得**終該方向產(chǎn)生嚴(yán)重崩邊(chipping)和切割痕跡蜿蜒(meandering)。浙江智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備價(jià)格表超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的品牌哪個(gè)好?無(wú)錫超通智能告訴您。

劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區(qū)域的時(shí)間,也就是決定了在某一區(qū)域內(nèi)輸入的劃片功率,因此會(huì)直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對(duì)劃片槽區(qū)域硅材料切割線可以看成是一個(gè)又一個(gè)光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當(dāng)?shù)乃俣瓤梢缘玫街旅堋⒕鶆虻那懈詈圹E,速度太快或頻率不足則相鄰兩個(gè)切割微圓的圓心較遠(yuǎn),芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質(zhì)量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數(shù)共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質(zhì)量等劃片的關(guān)鍵指標(biāo)。

試驗(yàn)表明,在其他參數(shù)不變的情況,頻率小于10kHz時(shí),劃片聲音尖銳刺耳,劃片深度較淺,劃片寬度較寬頻率增大,劃片深度增加,劃片寬度減少。當(dāng)頻率達(dá)到50kHz時(shí),劃片深度比較大當(dāng)頻率繼續(xù)增大,劃片深度開(kāi)始減小。這是由于,在較小的頻率下,雖然單個(gè)脈沖的峰值功率高,但是總體平均功率處于較低水平,雖然切割范圍大,但卻無(wú)法達(dá)到理想深度頻率增大以后,單個(gè)脈沖峰值功率有所下降,但是總體平均功率持續(xù)升高,到達(dá)臨界頻率時(shí),可以得到較理想的劃片深度和較窄的劃片寬度再增大頻率,單個(gè)脈沖的峰值功率偏低,不足以對(duì)硅片進(jìn)行“切割”,即使平均功率很高,劃片深度也趨于變小。無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的優(yōu)勢(shì)。

近年來(lái)光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長(zhǎng),硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用,于是在部分工序引入了激光技術(shù)。在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為***,超短脈沖激光是指激光單個(gè)脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒(即皮秒)這個(gè)量級(jí)的激光,由于激光脈沖時(shí)間寬度極短,在某個(gè)頻率(即一定脈沖個(gè)數(shù))下需要釋放設(shè)定的激光功率,單個(gè)脈沖的激光功率就是固定的,將單個(gè)脈沖的能量在極短的時(shí)間釋放出去,造成瞬時(shí)功率極高(兆瓦及以上),瞬間改變材料性質(zhì),平均功率很低對(duì)材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。超短脈沖激光加工具有諸多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì):無(wú)錫超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的價(jià)格分析。智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備服務(wù)電話

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晶圓切割是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片,稱之為晶圓劃片。激光作為新型的加工方式之一,屬于無(wú)接觸式加工,不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用,對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優(yōu)點(diǎn),聚焦點(diǎn)可小到亞微米數(shù)量級(jí),從而對(duì)晶圓的微處理更具優(yōu)越性,可以進(jìn)行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進(jìn)行材料加工。安徽自動(dòng)化超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備按需定制

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