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Cu2+的蝕刻作用由次要地位而躍居主要地位，此時蝕刻速率慢，即應考慮蝕刻液的更新。一般工廠很少分析和測定蝕刻液中的含銅量，多以蝕刻時間和蝕刻質量來確定蝕刻液的再生與更新。蝕刻銅箔的同時，還伴有一些副反應，就是CuCl2和FeCl3的水解反應：FeCl3＋3H2O→Fe(OH)3↓＋3HClCuCl2＋2H2O→Cu(OH)2↓＋2HCl生成的氫氧化物很不穩(wěn)定，受熱后易分解：2Fe(OH)3→Fe2O3↓＋3H2OCu(OH)2→CuO↓＋H2O結果生成了紅色的氧化鐵和黑色的氧化銅微粒，懸浮于蝕刻液中，對抗蝕層有一定的破壞作用。2.影響蝕刻速率的因素Fe3+的濃度和蝕刻液的溫度蝕刻液溫度越高，蝕刻速率越快，溫度的選擇應以不損壞抗蝕層為原則。Fe3+的濃度對蝕刻速率有很大的影響。蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加，對銅的蝕刻速率相應加快。當所含F(xiàn)e3+超過某一濃度時，由于溶液粘度增加，蝕刻速率反而有所降低。

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通常用于金屬層蝕刻的銅酸蝕刻溶液主要成分為過氧化氫和一些添加劑；過氧化氫用于對金屬進行氧化，而添加劑則主要將氧化物酸化成離子態(tài)，使其溶解于溶液中，并且維持蝕刻特性要求。由于過氧化氫同時具有氧化性和還原性，其可以將銅氧化，也可以被金屬離子催化發(fā)生歧化分解反應，生成氧氣。如果此反應速度過快，則會生熱乃至引起等安全事故。與此同時，二價銅離子也具有一定的氧化性，當蝕刻時間較長，所述銅酸蝕刻溶液體系內(nèi)的銅離子含量較高時，溶液的蝕刻特性會發(fā)生變化，以至于蝕刻達不到要求，所述銅酸蝕刻溶液不能夠再進行蝕刻，即達到蝕刻壽命?；谝陨蟽蓚€方面，過氧化氫體系的銅酸蝕刻溶液壽命較低，一般為當銅酸溶液中銅離子的濃度達到4000-8000百萬分比濃度，則不能再使用。好的BOE蝕刻液的標準是什么。江蘇無機BOE蝕刻液溶劑

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