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山東應(yīng)用BOE蝕刻液電話

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-01-18

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    可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對(duì)比給定溫度下的泡點(diǎn)或的蒸氣壓來實(shí)施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的,以使組合物再生,例如當(dāng)其飽和有污染物的時(shí)候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物,而沒有各組分的任何分餾。而且,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點(diǎn)。因此,半纖維素多糖是含有5個(gè)碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時(shí),得到戊糖(含有5個(gè)碳原子的糖),例如木糖。當(dāng)進(jìn)行木糖的熱脫水時(shí),該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn),閉杯閃點(diǎn)高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑。實(shí)驗(yàn)部分實(shí)施例1通過使用沸點(diǎn)測(cè)定技術(shù)測(cè)量液體混合物的沸點(diǎn)。首先,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點(diǎn)測(cè)定儀中,然后,使其沸騰。在達(dá)到平衡狀態(tài)之后,記錄在大氣壓下的沸點(diǎn)。然后,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點(diǎn)測(cè)定儀中并且在已達(dá)到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。

緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)是一種用于微細(xì)加工的液體腐蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜。它是氟化銨(NH4F)和氫氟酸(HF)等緩沖液的混合物。濃縮的HF蝕刻二氧化硅的速度太快,不能很好地進(jìn)行工藝控制,同時(shí)也會(huì)剝落用于光刻圖案化的光刻膠。BOE6:1is6partsbyvolume40%ammoniumfluorideand1partbyvolume49%HF.應(yīng)用緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)6:1可用于柵極光刻(gatephotolithography)的AlGaN/GaN基高電子遷移率晶體管的氧化物去除。它可用于緩沖氧化物蝕刻劑法,制造微型生物芯片。BOE蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài)。

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    其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中;液體泵,其一端通過管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,另一端通過管道連接所述射流器的進(jìn)液口,用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:曝氣裝置,用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌。進(jìn)一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括:后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過所述再生液調(diào)配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進(jìn)一步地,所述電解槽的陽極為石墨電極,陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進(jìn)一步地,所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進(jìn)一步地,所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了電解后廢液的再生利用,可節(jié)約能耗和藥品,提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖;圖2是本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解。天馬微電子用哪家BOE蝕刻液更多?福建什么是BOE蝕刻液聯(lián)系方式

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