表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先，用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重，其構(gòu)成皮重。然后，在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘，不進行攪拌且無超聲。該片材一移出，就在通風(fēng)的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry)，并且，在該15分鐘結(jié)束時，通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比，計算移除的油的百分?jǐn)?shù)。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下，得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司，BOE蝕刻液。福建什么是BOE蝕刻液銷售公司

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    可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的，以使組合物再生，例如當(dāng)其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物，而沒有各組分的任何分餾。而且，2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點。因此，半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時，得到戊糖(含有5個碳原子的糖)，例如木糖。當(dāng)進行木糖的熱脫水時，該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外，根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn)，閉杯閃點高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑。實驗部分實施例1通過使用沸點測定技術(shù)測量液體混合物的沸點。首先，將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點測定儀中，然后，使其沸騰。在達到平衡狀態(tài)之后，記錄在大氣壓下的沸點。然后，將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點測定儀中并且在已達到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。蘇州博洋專業(yè)生產(chǎn),BOE蝕刻液生產(chǎn)。

    所述的磷酸濃度為82-87％。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，醇醚類的含量為％。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，表面活性劑的含量為％。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地，在使用本發(fā)明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時，蝕刻溫度為152-165℃，蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，改善了磷酸的浸潤性和表面張力，明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后，先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片，采用超純水清洗和氮氣吹干后，使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前，使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。選擇蘇州博洋化學(xué)股份有限公司，安心，放心，舒心。湖北無機BOE蝕刻液推薦貨源

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