安裝和培訓(xùn)：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設(shè)備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場(chǎng)提供與該設(shè)備匹配的電接口，便于安裝調(diào)試。u供方在需方現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試設(shè)備并交付使用。13-2.培訓(xùn)u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場(chǎng)為需方操作者提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問(wèn)題的分析和緊急故障的處理程序。u設(shè)備出廠經(jīng)需方預(yù)驗(yàn)收合格。十四、設(shè)備驗(yàn)收：14-1.預(yù)驗(yàn)收u預(yù)驗(yàn)收在供方進(jìn)行。u一般檢查：看設(shè)備的實(shí)物布局是否合理，外觀質(zhì)量與基本功能是否符合技術(shù)要求，設(shè)備的管線連接是否堅(jiān)固。u安全檢查包括：機(jī)械、電器故障顯示、檢測(cè)、報(bào)警等各種保護(hù)功能的檢查。u設(shè)備空運(yùn)轉(zhuǎn)檢查：空運(yùn)轉(zhuǎn)6小時(shí)期間不能出故障。14-2.終驗(yàn)收14-2-1.終驗(yàn)收在需方的車(chē)間內(nèi)進(jìn)行。設(shè)備到達(dá)需方車(chē)間就位后，供方須派專(zhuān)業(yè)人員到需方現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行調(diào)試，同時(shí)完成終驗(yàn)收工作。14-2-2.終驗(yàn)收的程序如下u同初驗(yàn)收內(nèi)容,設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間延長(zhǎng)至三個(gè)工作日高溫隧道固化爐燒銀爐。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場(chǎng)

控制系統(tǒng)循環(huán)馬達(dá)及風(fēng)葉采用運(yùn)風(fēng)馬達(dá)，配多翼式風(fēng)輪，經(jīng)過(guò)動(dòng)平衡矯正及風(fēng)速靜壓之測(cè)試、共鳴之測(cè)試完成；采水平送風(fēng)循環(huán)方式，兩側(cè)吹風(fēng)，中間回風(fēng)，有效保證均溫。加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱?？諝饧訜岱绞?.由烘箱進(jìn)氣口進(jìn)風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內(nèi)；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內(nèi)部做循環(huán)運(yùn)風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺(tái)上品HOTTSP微電腦自動(dòng)演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動(dòng)整定演算輸出，控制精細(xì)。超溫保護(hù)器1.采用超溫保護(hù)器；2.當(dāng)溫度超過(guò)超溫保護(hù)器設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源。時(shí)間控制0~99.9小時(shí)可任意設(shè)定，時(shí)間到達(dá)后有報(bào)警并自動(dòng)停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更***。溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫精細(xì)。時(shí)控開(kāi)關(guān)附一個(gè)時(shí)控開(kāi)關(guān)，可設(shè)置定時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺(tái)國(guó)產(chǎn)6通道無(wú)紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。蘇州無(wú)塵工業(yè)烤箱價(jià)格精密送風(fēng)循環(huán)隧道爐。

外部尺寸：W635*D645*H1255電熱功率：AC220V50HZ2000W電熱控制：PID+SSR測(cè)溫探頭：日制PT100鉑金電阻，不銹鋼鎧裝覆套，精度±0.5%，反應(yīng)靈敏，抗干擾，耐高溫。電氣控制：HMI大屏15寸觸摸屏+IPC(工業(yè)電腦/Advantech研華)（610L/SIMB-A21/I5-2400/16G/1T）(處理器IT,內(nèi)存16G，硬盤(pán)1T,作業(yè)系統(tǒng)64位Windows10)宏碁（ACER）23.8寸IPS硬屏顯示器。（品牌：Advantech研華+PLC品牌：西門(mén)子）軟體版本：確認(rèn)**終規(guī)格后，隨機(jī)附上殺毒軟件：360殺毒軟件V5.0正式版內(nèi)部材質(zhì)：316L外部材質(zhì)：304鏡面處理（可定制拉絲，烤漆等）使用溫度：MAX250℃真空度：<133Pa標(biāo)配國(guó)產(chǎn)旋葉真空泵，品牌：慕泓DIM-4。抽氣速度2~4升／秒，抽真空時(shí)間60秒左右，破真空時(shí)間25秒左右。德國(guó)萊寶真空計(jì)，型號(hào)TTR91,控制精度1pa。氮?dú)庀到y(tǒng)：采用**氮?dú)饪刂崎y控制（MPC浮子式流量閥控制，型號(hào)：MPC-P21/P22）。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：HMDS藥劑容量500ml

7、端子排應(yīng)無(wú)損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應(yīng)能保證運(yùn)行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號(hào)碼管；8、配電箱上配有相應(yīng)的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號(hào)用中文標(biāo)注且清楚明了，電控箱內(nèi)有詳細(xì)的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動(dòng)移行機(jī)構(gòu)、必須設(shè)有手動(dòng)和自動(dòng)模式，可以聯(lián)動(dòng)也可以手動(dòng)控制該設(shè)備。七.總體技術(shù)要求:1．線體結(jié)構(gòu)為模塊化拼裝結(jié)構(gòu)。2．線體有良好的接地保護(hù),接地線線徑應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。3．生產(chǎn)線（包括各單機(jī)，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產(chǎn)線各運(yùn)動(dòng)部分運(yùn)轉(zhuǎn)靈活,平穩(wěn),安全,可靠,無(wú)爬行,跳動(dòng)現(xiàn)象,無(wú)異常聲音,工件無(wú)碰撞擺動(dòng)現(xiàn)象.5．生產(chǎn)線各銜接部分,單機(jī)設(shè)備與生產(chǎn)線之間應(yīng)銜接良好,工作節(jié)拍協(xié)調(diào)一至,且各單機(jī)的工作節(jié)拍應(yīng)小于生產(chǎn)線的工作節(jié)拍。6．生產(chǎn)線整體設(shè)計(jì)為鋼型材架結(jié)構(gòu),做到結(jié)構(gòu)美觀,牢固耐用,整體色調(diào)簡(jiǎn)潔明快.7．各驅(qū)動(dòng),傳動(dòng)部位潤(rùn)滑情況良好,無(wú)漏油現(xiàn)象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過(guò)道部分安裝黃色護(hù)欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統(tǒng)控制使用安全電壓（DC24V）。氣氛老化烤箱加壓爐。

1)外殼SUS304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個(gè)，總功率2650W,均勻分布在內(nèi)膽外壁，上下左右四面加熱，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。無(wú)發(fā)塵材料，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。5)HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。電熱鼓風(fēng)烤箱雙開(kāi)式臺(tái)車(chē)烤箱。泰州無(wú)氧化工業(yè)烤箱維保

網(wǎng)鏈?zhǔn)竭€原氣氛隧道爐。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場(chǎng)

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場(chǎng)

昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量管理的追求。臺(tái)上品作為機(jī)械及行業(yè)設(shè)備的企業(yè)之一，為客戶提供良好的工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。臺(tái)上品繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路，既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長(zhǎng)，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。臺(tái)上品創(chuàng)始人朱慶巧，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技，竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù)。