我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。當(dāng)氣體分子平均自由程大...
在數(shù)字真空計的使用過程中,影響電子真空計工作的較常見問題是傳感器污染。傳感器區(qū)域中的機油和其他污染物可能會影響傳感器檢測真空度變化的能力。所有電子真空計都會受到油污染。機油污染通常是可以避免的,不在保修范圍內(nèi)。油存在于所有空調(diào)/制冷系統(tǒng)中,并可在排空過程中從系統(tǒng)中抽出。在將電子真空計連接到閥門上的側(cè)端口之前,盡量真空充注閥拆下檢修接頭芯,并將系統(tǒng)拉至28“Hg以下。這將使您能夠正確地將系統(tǒng)與泵隔離,并減少系統(tǒng)或真空泵的機油污染傳感器的可能性。如果真空計傳感器被機油污染,則會在傳感器端部的橡膠密封件中看到機油跡象。真空讀數(shù)也將高于預(yù)期值。在某些特殊污染的情況下,顯示器不會低于大氣壓力。真空計是基...
在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的,請在真空計安置之后,與真空系統(tǒng)相連時再作抽出(請別丟棄,以后送維修時,還需塞緊后寄回)。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計,采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度,采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上(杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿),選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面,安置好真空計。當(dāng)測量完畢后,應(yīng)及時的關(guān)閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門,將手輪退到擰不動為止,把杠桿退還到起始位置即可。真空計開始執(zhí)行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。麗水電阻型真空計銷售廠家麥?zhǔn)险婵沼嬍褂梅椒ǎ?、在使用之前,先將...
定溫型電阻真空計工作原理是:先在10-2~10-3 Pa真空度時,將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值);改變電阻Rv使電橋平衡,即指示儀表CB指向零;當(dāng)壓力增高時,熱損耗大,熱絲溫度降低,電阻變小,電橋失去平衡,CB有指示;再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡,則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理:電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1,R2、C2,R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K~為交流振蕩器,其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間,并對規(guī)管熱絲加熱。真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。濟南智能型真空計廠家推薦皮拉尼電阻真空...
測量真空度的裝置稱為真空計,熱傳導(dǎo)真空計是依據(jù)低壓氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一現(xiàn)象來進行測量的。它可以通過熱絲電阻的變化來反映溫度的變化,從而反映熱傳導(dǎo)的變化,用此種測量方法的真空計稱為熱阻真空計,又稱為電阻真空計。也可以直接用熱電偶測量熱絲的溫度變化來反映熱傳導(dǎo)的變化,稱為熱偶真空計。DCP 3000電阻真空計是一款杰出的真空規(guī),擁有帶背光的大顯示屏幕。全新的VSP 3000真空傳感器基于熱導(dǎo)(電阻)原理,測量范圍從常壓到10-3 mbar。與被抽介質(zhì)接觸的部分采用抗化學(xué)腐蝕塑料(PBT,PUR)和氧化鋁陶瓷。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。淄博壓敏真空計批發(fā)價格電阻真空計也稱皮拉尼(P...
電阻真空計系利用真空系統(tǒng)中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制造作而成的,電阻真空計屬于相對真空計的范疇。電阻真空計的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強、使用方便(可用導(dǎo)線進行遠(yuǎn)距離測量)。缺點在于即電阻真空計的測量值與被測量氣體種類有關(guān),這是因為電阻真空計出廠時大多是利用空氣標(biāo)定的,由于離子滲氮爐中氫的存在,氫的熱導(dǎo)率與氮、空氣等的熱導(dǎo)率相比相差太大,故所測真空度值誤差較大。但由于該類真空計實用方便、讀數(shù)直觀,勇于測量爐體的極限真空度和壓升率準(zhǔn)確可靠,因而仍然是我國大多數(shù)企業(yè)的一個選擇產(chǎn)品。數(shù)顯隔膜真空計靈活可設(shè)置的方式為用戶帶來了很大的便利和適用性。陜西榆林?jǐn)?shù)顯電阻真空計多少錢對于使用進...
眾所周知,真空計具有簡單、經(jīng)濟、使用方便等特點,在中真空以至低真空測量中都占有重要的地位。然而,我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡單,但由于絲細(xì)而長比較脆弱,經(jīng)不起振動和氣流沖擊,同時絲表面對污染較為敏感,即使采用白金絲或鍍金鎢絲,穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計屬熱導(dǎo)真空計,產(chǎn)生于1906年,但只是在40年代解決了細(xì)絲焊接問題之后,它才得到實際應(yīng)用。由于它相對皮氏計而言,更為簡單、可靠,在許多地方代替了皮氏計。不過,迄今為止,商售熱偶真空計單限于定流式一種,一般測盆上限單為100Pa。電阻真空計,基于定溫和對流原理,采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件,成功地把測量上限擴展至大氣壓,并彌補了皮氏計的不足之處,...
采用電阻真空計真空傳感器,可以準(zhǔn)確測量真空度,實時監(jiān)控真空系統(tǒng)的真空度。安全操作說明:在進行測量時,應(yīng)遵循使用操作說明,在說明書參數(shù)范圍內(nèi)使用本儀器。當(dāng)電量不足時,應(yīng)及時更換新電池,新舊電池,不同品牌的電池不能混合使用,長時間不用時,應(yīng)取出電池。不要使用腐蝕性清潔劑或溶劑清潔本儀器。戴好護目鏡和防護手套。傳感器清理:在使用過程中,傳感器可能被雜質(zhì)污染,此時需要清潔傳感器,具體步驟如下:使真空計關(guān)機,并取出電池。用滴管或針筒把或酒精注入傳感器室內(nèi),反復(fù)清洗3-4次。真空計在測量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。陜西榆林?jǐn)?shù)顯式電阻真空表售價電阻真空計也稱皮拉尼(Pirani...
本實用新型公開了一種電阻真空計校準(zhǔn)電路,包括真空傳感器,A/D采集芯片和單片機;真空傳感器輸出的電信號經(jīng)A/D采集芯片進行模數(shù)轉(zhuǎn)換后上傳至單片機,還包括LCD顯示屏,所述LCD顯示屏與單片機的I/O口通信連接,所述單片機的I/O口還分別連接一個觸發(fā)按鍵。本實用新型電阻真空計校準(zhǔn)電路通過記錄傳感器的輸入電壓,據(jù)此計算出此輸入電壓與標(biāo)準(zhǔn)電壓(0和5V)的對應(yīng)關(guān)系,從而達(dá)到對傳感器進行標(biāo)準(zhǔn)的目的,也克服了傳統(tǒng)方案易受人為因素和環(huán)境溫度影響的缺點。真空計的可靠性高,操作簡単,測量結(jié)果重復(fù)性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點。上海壓敏真空計售價在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄...
測量真空度的裝置稱為真空計,熱傳導(dǎo)真空計是依據(jù)低壓氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一現(xiàn)象來進行測量的。它可以通過熱絲電阻的變化來反映溫度的變化,從而反映熱傳導(dǎo)的變化,用此種測量方法的真空計稱為熱阻真空計,又稱為電阻真空計。也可以直接用熱電偶測量熱絲的溫度變化來反映熱傳導(dǎo)的變化,稱為熱偶真空計。DCP 3000電阻真空計是一款杰出的真空規(guī),擁有帶背光的大顯示屏幕。全新的VSP 3000真空傳感器基于熱導(dǎo)(電阻)原理,測量范圍從常壓到10-3 mbar。與被抽介質(zhì)接觸的部分采用抗化學(xué)腐蝕塑料(PBT,PUR)和氧化鋁陶瓷。測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行,真空計使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)。府谷縣智能型真...
安裝上抽氣接頭和用作密封的羅帽,用真空排氣管聯(lián)接真空系統(tǒng),若有條件請采用¢6mm的紫銅管進行焊接,盡可能減少漏氣的可能性,注意焊接時,必須將真空計套在接頭上的密封圈取下。測量時,以旋轉(zhuǎn)手輪進行測量的,必須將化學(xué)物質(zhì)升至SET設(shè)定處,在看右側(cè)測量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì),所指向的真空度數(shù)。讀數(shù)后,必須將手輪及時的返旋回來,憑手感吃力為止。操作PM-6型的真空計,除上面所提到的低真空度測量外,對粗真空度的測量方法是:將右側(cè)測量管內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)上升至左側(cè)下方的“○→” 位置,看抽氣管(也稱比較開管)內(nèi)化學(xué)物質(zhì)所指向的真空度數(shù),即為粗真空度。切記!除在跟蹤測量外,其余的真空度以三次測量未變的數(shù)值為準(zhǔn)確。當(dāng)電阻真空...
倘若真空系統(tǒng)的真空度為粗真空時,對PM-2型來說,那么正好看右邊U型真空計壓力,其讀數(shù)值是看兩個化學(xué)物質(zhì)珠所指的刻度數(shù)值相加之和,當(dāng)真空度低于0.2KPa(即200Pa)時,兩個化學(xué)物質(zhì)柱端面基本處于平行,則要看左側(cè)的真空表了,其操作方法與原麥?zhǔn)险婵毡硪粯樱ū砻嬗∷⑺荆2Ax耳-馬略特定律:它反映氣體的體積隨壓強改變而改變的規(guī)律。對于一定質(zhì)量的氣體,在其溫度保持不變時,它的壓強和體積成反比;或者說,其壓強P與它的體積V的乘積為一常量,即 PV=C(常數(shù))(T不變時)或 P1V1=P2V2=PnVn。式中常量的大小與氣體系統(tǒng)的溫度和氣體的質(zhì)量有關(guān)。實際氣體只是在壓強不太高、溫度不太低的條件下才...
真空計開始執(zhí)行任何工作之前,要查看真空部件是否被污染。處理受污染部件時,要遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。執(zhí)行任何工作之前,要遵守相關(guān)規(guī)定,采取必要的預(yù)防措施,針對使用的工藝介質(zhì),遵守相關(guān)規(guī)定,并采取必要的預(yù)防措施。要考慮到可能會與產(chǎn)品材料發(fā)生的反應(yīng)。真空計安裝變送器時要注意防止振動。安裝變送器任何方位皆可。為防止凝液和顆粒進入測量腔,較好選擇一個水平到垂直向上的方位,在測量口可以添加過濾裝置。如果變送器安裝好之后要進行調(diào)節(jié),安裝時要確保裝好后能夠用按針對調(diào)節(jié)按鈕進行操作。拆掉保護蓋,將產(chǎn)品連接到真空系統(tǒng)中。真空計是應(yīng)用真空中熱傳導(dǎo)與真空度有關(guān)的原理測量真空。寧波皮拉尼電阻真空計銷售本實用...
實用的電阻真空計測量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測量熱絲電阻變化的方法不同,可分為三種模式:(1)定電壓法:保持電橋兩端電壓不變,觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法:保持熱絲電流(或電橋電流)不變,觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法):在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法,保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線。在此方法中,熱絲電阻及其溫度基本為定值,具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點。在以上三種模式中,常用的是定電壓法和定溫度法。真空計垂直放置在大氣時壓強讀數(shù)較小,水平放置在大氣時,壓強讀數(shù)較大。嘉興數(shù)字電阻真空計批發(fā)電阻真空計(thermoco...
該電阻真空計(又名電阻真空計)采用本公司潛心研究的經(jīng)過特殊穩(wěn)定化處理的ZJ-52T電阻規(guī);同時結(jié)合電阻規(guī)特性精心調(diào)校電子學(xué)參數(shù),并采用先進的恒功率定溫技術(shù),以及微處理器對規(guī)管的非線性線性化處理技術(shù)?;诖?,該真空計系列具有強的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測量量程、快的響應(yīng)速度、較小的零點/滿度漂移等特性。為適應(yīng)真空設(shè)備自動化技術(shù),并集成了強大的繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴展功能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備的粗、低真空測量與控制。 若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定,安裝時必須保持真空計與水平面的垂直度。日照壓敏真空計批發(fā)廠家倘若真空系統(tǒng)的真空度為粗真空時,對PM-2型來說,那么正好看右邊U型真空...
皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成,用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好,不易損壞。儀器采用微處理機完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償功能,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù),提高了測量精度及抗干擾能力,特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺真空計均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口,用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設(shè)定,該儀器控制面板更人性化,操作更方便,開電源即可工作。本機線路設(shè)計合理,制作工藝考究,采用...
真空計傳感器通常可用異丙醇清洗。為了保持真空計傳感器的準(zhǔn)確性,盡量避免機油污染。以下是一些避免污染的建議:1、連接真空計傳感器前,檢查接頭是否有油跡。2、盡可能使傳感器保持垂直。3、將儀表直接連接到系統(tǒng),遠(yuǎn)離泵。4、在關(guān)閉泵之前,用閥門將泵與系統(tǒng)(和壓力表)隔離。當(dāng)壓力表安裝在泵附近時,這一點非常重要。熱真空計檢漏,要在它的測量范圍的真空度下,才能有效,即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過檢出較小漏孔為1*10-5托升/秒。隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。金華智能型真空計銷售測量時壓力計旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進行,真空計使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài),橫臥過程中...
運輸及使用時必須嚴(yán)防倒置平臥,以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細(xì)管內(nèi)堵塞毛細(xì)管,影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理,有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度,應(yīng)及時送往修理,經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔,也能避免真空計被取下分離時,大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將...
皮拉尼電阻真空計是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成,用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好,不易損壞。儀器采用微處理機完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償功能,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù),提高了測量精度及抗干擾能力,特別對于電子束、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺真空計均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口,用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制。定值點及區(qū)域可方便自由設(shè)定,該儀器控制面板更人性化,操作更方便,開電源即可工作。本機線路設(shè)計合理,制作工藝考究,采用...
隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件,就隔膜真空計本身而言,根據(jù)其測量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類型,這給實際使用中的隔膜真空計選型帶來了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計種類。對于每一個等級內(nèi)的真空度,較佳的測量儀器是不一樣的,具體來說,若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計,若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大,且對氣體種類敏感,因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過程中對這個區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測量...
對于使用進口電阻真空計時如何保證測量吸氣劑放氣量的精度這一問題進行了探索。首先通過對膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進取氣方法等項措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以內(nèi)。同時又討論了測量時的環(huán)境溫度、氣體種類、真空計的靈敏度、熱絲的污染等因素對儀器測量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計的測量范圍為1托~1000托,線性測量,測量精度優(yōu)于5%,為全壓強測量,測量值受被測氣體種類影響較小,引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個等值電阻,組成惠斯登電橋。隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。德州皮拉尼真空表廠家麥?zhǔn)险婵毡碛置溈藙谡?..
運輸及使用時必須嚴(yán)防倒置平臥,以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細(xì)管內(nèi)堵塞毛細(xì)管,影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直,以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理,有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度,應(yīng)及時送往修理,經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后,應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔,也能避免真空計被取下分離時,大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將...
我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。真空計(Vacuum ...
熱導(dǎo)式真空計測量值跟氣體成分有關(guān),在相同的真空壓力條件下,水蒸氣的熱導(dǎo)率是氮氣的1.6倍,因此在一次干燥過程當(dāng)中,電阻真空計測得值比電容真空計測得值高約為60%。在接近一次升華干燥終點時,凍干箱內(nèi)部水蒸氣逐漸減少,不凝性氣體(以氮氣為主)逐漸增多,因此電阻真空計測得壓力值隨著一次干燥過程的進行,逐漸在減小。當(dāng)電阻真空計測得值與電容真空計測得值接近時可以判斷一次干燥過程結(jié)束。但是由于電阻真空計自身存在的一些性能缺點,限制了該方法的使用。電阻真空計易出現(xiàn)老化現(xiàn)象,使其性能降低;電阻真空計有較大的熱慣性,壓強改變時,其讀數(shù)會滯后一些時間;其受外界溫度的影響較大,必須安裝于不易受輻射或?qū)α鳠嵊绊懙牡胤?..
我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用...
真空計是基于皮拉尼真空計的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計,配備集成的繼電器輸出,適合工藝控制。還帶有LED環(huán),可顯示真空計的狀態(tài)。真空計的可靠性高,操作簡単,測量結(jié)果重復(fù)性好,可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點,安裝簡單并且節(jié)省成本和空間。真空計間接壓力測量是通過測量氣體與壓力有關(guān)的性質(zhì)(例如熱導(dǎo)率、電離概率)進行間接測量的,因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù),對于其它氣體,可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。真空泵用真空計還配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。帶有鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。上海指針式真空計廠家電話真空計...
實用的電阻真空計測量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測量熱絲電阻變化的方法不同,可分為三種模式:(1)定電壓法:保持電橋兩端電壓不變,觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法:保持熱絲電流(或電橋電流)不變,觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法):在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法,保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線。在此方法中,熱絲電阻及其溫度基本為定值,具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點。在以上三種模式中,常用的是定電壓法和定溫度法。隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。東北三省皮拉尼真空表哪家好電阻真空計特點:1.電阻真空計配用的傳...
隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件,就隔膜真空計本身而言,根據(jù)其測量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類型,這給實際使用中的隔膜真空計選型帶來了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計種類。對于每一個等級內(nèi)的真空度,較佳的測量儀器是不一樣的,具體來說,若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計,若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大,且對氣體種類敏感,因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過程中對這個區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測量...
在數(shù)字真空計的使用過程中,影響電子真空計工作的較常見問題是傳感器污染。傳感器區(qū)域中的機油和其他污染物可能會影響傳感器檢測真空度變化的能力。所有電子真空計都會受到油污染。機油污染通常是可以避免的,不在保修范圍內(nèi)。油存在于所有空調(diào)/制冷系統(tǒng)中,并可在排空過程中從系統(tǒng)中抽出。在將電子真空計連接到閥門上的側(cè)端口之前,盡量真空充注閥拆下檢修接頭芯,并將系統(tǒng)拉至28“Hg以下。這將使您能夠正確地將系統(tǒng)與泵隔離,并減少系統(tǒng)或真空泵的機油污染傳感器的可能性。如果真空計傳感器被機油污染,則會在傳感器端部的橡膠密封件中看到機油跡象。真空讀數(shù)也將高于預(yù)期值。在某些特殊污染的情況下,顯示器不會低于大氣壓力。真空計在測...
對于使用進口電阻真空計時如何保證測量吸氣劑放氣量的精度這一問題進行了探索。首先通過對膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進取氣方法等項措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以內(nèi)。同時又討論了測量時的環(huán)境溫度、氣體種類、真空計的靈敏度、熱絲的污染等因素對儀器測量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計的測量范圍為1托~1000托,線性測量,測量精度優(yōu)于5%,為全壓強測量,測量值受被測氣體種類影響較小,引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個等值電阻,組成惠斯登電橋。真空計一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化氣壓的測量。臺州皮拉尼真空計報價測量時壓力計旋...