熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優(yōu)勢(shì)一:
熱紅外顯微鏡(Thermal emmi )能夠檢測(cè)到極其微弱的熱輻射和光發(fā)射信號(hào),其靈敏度通??梢赃_(dá)到微瓦甚至納瓦級(jí)別。同時(shí),它還具有高分辨率的特點(diǎn),能夠分辨出微小的熱點(diǎn)區(qū)域,分辨率可以達(dá)到微米甚至納米級(jí)別。具備極高的探測(cè)靈敏度,能夠捕捉微瓦級(jí)甚至納瓦級(jí)的熱輻射與光發(fā)射信號(hào),適用于識(shí)別早期故障及微小異常。同時(shí),該技術(shù)具有優(yōu)異的空間分辨能力,能夠準(zhǔn)確定位尺寸微小的熱點(diǎn)區(qū)域,其分辨率可達(dá)微米級(jí),部分系統(tǒng)也已經(jīng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)識(shí)別。通過(guò)結(jié)合熱圖像與光發(fā)射信號(hào)分析,熱紅外顯微鏡為工程師提供了精細(xì)、直觀的診斷工具,大幅提升了故障排查與性能評(píng)估的效率和準(zhǔn)確性。 熱紅外顯微鏡能透過(guò)硅片或封裝材料,對(duì)半導(dǎo)體芯片內(nèi)部熱缺陷進(jìn)行非接觸式檢測(cè)。直銷熱紅外顯微鏡方案
致晟光電推出的多功能顯微系統(tǒng),創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)熱紅外與微光顯微鏡的集成設(shè)計(jì),搭配靈活可選的制冷/非制冷模式,可根據(jù)您的實(shí)際需求定制專屬配置方案。這套設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在于一體化集成能力:只需一套系統(tǒng),即可同時(shí)搭載可見光顯微鏡、熱紅外顯微鏡及InGaAs微光顯微鏡三大功能模塊。這種設(shè)計(jì)省去了多設(shè)備切換的繁瑣,更通過(guò)硬件協(xié)同優(yōu)化提升了整體性能,讓您在同一平臺(tái)上輕松完成多波段觀測(cè)任務(wù)。相比單獨(dú)購(gòu)置多套設(shè)備,該集成系統(tǒng)能大幅降低采購(gòu)與維護(hù)成本,在保證檢測(cè)精度的同時(shí),為實(shí)驗(yàn)室節(jié)省空間與預(yù)算,真正實(shí)現(xiàn)性能與性價(jià)比的雙重提升。鎖相熱紅外顯微鏡牌子定位芯片內(nèi)部微短路、漏電、焊點(diǎn)虛接等導(dǎo)致的熱異常點(diǎn)。
在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會(huì)將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會(huì)破壞內(nèi)部電路和引線,導(dǎo)致無(wú)法進(jìn)行電動(dòng)態(tài)分析,適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結(jié)構(gòu)的場(chǎng)景。局部去除法通過(guò)特定手段去除部分封裝,優(yōu)點(diǎn)是開封過(guò)程不會(huì)損壞內(nèi)部電路和引線,開封后仍可進(jìn)行電動(dòng)態(tài)分析,能為失效分析提供更豐富的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)。自動(dòng)法則是利用硫酸噴射實(shí)現(xiàn)局部去除,自動(dòng)化操作可提高效率和精度,不過(guò)同樣屬于破壞性處理,會(huì)對(duì)樣品造成一定程度的損傷。
從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到熱紅外顯微鏡的演變,是其技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)微觀熱分析需求的深度洞察與持續(xù)創(chuàng)新的結(jié)果。它既延續(xù)了通過(guò)紅外熱輻射解析熱行為的原理,又通過(guò)全尺度觀測(cè)、高靈敏度檢測(cè)、場(chǎng)景化分析等創(chuàng)新,突破了傳統(tǒng)技術(shù)的邊界。如今,這款設(shè)備已成為半導(dǎo)體失效分析、新材料熱特性研究、精密器件研發(fā)等領(lǐng)域的專業(yè)工具,為行業(yè)在微觀熱管控、缺陷排查、性能優(yōu)化等方面提供了更高效的技術(shù)支撐,推動(dòng)微觀熱分析從 “可見” 向 “可知”“可控” 邁進(jìn)。熱紅外顯微鏡突破光學(xué)衍射極限,以納米級(jí)分辨率呈現(xiàn)樣品微觀結(jié)構(gòu)與熱特性。
致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列,是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測(cè)工具,在半導(dǎo)體芯片、先進(jìn)封裝技術(shù)、功率電子器件以及印刷電路板(PCB)等領(lǐng)域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。
該設(shè)備搭載——實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析(RTTLIT)系統(tǒng),并集成高靈敏度紅外相機(jī)、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術(shù)組件,賦予其三大特性:超凡靈敏度與亞微米級(jí)檢測(cè)精度,可捕捉微弱熱信號(hào)與光子發(fā)射;高精度溫度測(cè)量能力(鎖相靈敏度達(dá)0.001℃),支持動(dòng)態(tài)功耗分析;無(wú)損故障定位特性,無(wú)需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術(shù)集成優(yōu)勢(shì),ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點(diǎn),更能通過(guò)失效分析優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性,為半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝及電子器件研發(fā)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。 熱紅外顯微鏡在 SiC/GaN 功率器件檢測(cè)中,量化評(píng)估襯底界面熱阻分布。國(guó)產(chǎn)熱紅外顯微鏡大全
熱紅外顯微鏡利用鎖相技術(shù),有效提升熱成像的清晰度與準(zhǔn)確性 。直銷熱紅外顯微鏡方案
熱紅外是紅外光譜中波長(zhǎng)介于 3–18 微米的譜段,其能量主要來(lái)自物體自身的熱輻射,而非對(duì)外界光源的反射。該波段可細(xì)分為中紅外(3–8?μm)、長(zhǎng)波紅外(8–15?μm)和超遠(yuǎn)紅外(15–18?μm),其熱感應(yīng)本質(zhì)源于分子熱振動(dòng)產(chǎn)生的電磁波輻射,輻射強(qiáng)度與物體溫度正相關(guān)。在應(yīng)用上,熱紅外利用大氣窗口(3–5?μm、8–14?μm)實(shí)現(xiàn)高精度的地表遙感監(jiān)測(cè),并廣泛應(yīng)用于熱成像、氣體探測(cè)等領(lǐng)域。現(xiàn)代設(shè)備如 TIRS-2 和 O-PTIR 等,已將熱紅外技術(shù)的空間分辨率提升至納米級(jí)水平。
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