相較于傳統(tǒng)微光顯微鏡,InGaAs(銦鎵砷)微光顯微鏡在檢測(cè)先進(jìn)制程組件微小尺寸組件的缺陷方面具有更高的適用性。其原因在于,較小尺寸的組件通常需要較低的操作電壓,這導(dǎo)致熱載子激發(fā)的光波長(zhǎng)增長(zhǎng)。InGaAs微光顯微鏡特別適合于檢測(cè)先進(jìn)制程產(chǎn)品中的亮點(diǎn)和熱點(diǎn)(HotSpot)定位。InGaAs微光顯微鏡與傳統(tǒng)EMMI在應(yīng)用上具有相似性,但I(xiàn)nGaAs微光顯微鏡在以下方面展現(xiàn)出優(yōu)勢(shì):
1.偵測(cè)到缺陷所需時(shí)間為傳統(tǒng)EMMI的1/5~1/10;
2.能夠偵測(cè)到微弱電流及先進(jìn)制程中的缺陷;
3.能夠偵測(cè)到較輕微的MetalBridge缺陷;
4.針對(duì)芯片背面(Back-Side)的定位分析中,紅外光對(duì)硅基板具有較高的穿透率。 但歐姆接觸和部分金屬互聯(lián)短路時(shí),產(chǎn)生的光子十分微弱,難以被微光顯微鏡偵測(cè)到,借助近紅外光進(jìn)行檢測(cè)。。檢測(cè)用微光顯微鏡廠家
漏電是芯片另一種常見(jiàn)的失效模式,其誘因復(fù)雜多樣,既可能源于晶體管長(zhǎng)期工作后的老化衰減,也可能由氧化層存在裂紋等缺陷引發(fā)。
與短路類似,芯片內(nèi)部發(fā)生漏電時(shí),漏電路徑中會(huì)伴隨微弱的光發(fā)射現(xiàn)象——這種光信號(hào)的強(qiáng)度往往遠(yuǎn)低于短路產(chǎn)生的光輻射,對(duì)檢測(cè)設(shè)備的靈敏度提出了極高要求。EMMI憑借其的微光探測(cè)能力,能夠捕捉到漏電產(chǎn)生的極微弱光信號(hào)。通過(guò)對(duì)芯片進(jìn)行全域掃描,可將漏電區(qū)域以可視化圖像的形式清晰呈現(xiàn),使工程師能直觀識(shí)別漏電位置與分布特征。
顯微微光顯微鏡設(shè)備制造它嘗試通過(guò)金屬層邊緣等位置的光子來(lái)定位故障點(diǎn),解決了復(fù)雜的檢測(cè)難題。
致晟光電始終以客戶需求為重心,兼顧貨源保障方面。目前,我們有現(xiàn)貨儲(chǔ)備,設(shè)備及相關(guān)配件一應(yīng)俱全,能夠快速響應(yīng)不同行業(yè)、不同規(guī)??蛻舻牟少?gòu)需求。無(wú)論是緊急補(bǔ)購(gòu)的小型訂單,還是批量采購(gòu)的大型項(xiàng)目,都能憑借充足的貨源實(shí)現(xiàn)高效交付,讓您無(wú)需為設(shè)備短缺而擔(dān)憂,確保生產(chǎn)計(jì)劃或項(xiàng)目推進(jìn)不受影響。
為了讓客戶對(duì)設(shè)備品質(zhì)有更直觀的了解,我們大力支持現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)貨。您可以親臨我們的倉(cāng)庫(kù)或展示區(qū),近距離觀察設(shè)備的外觀細(xì)節(jié),親身操作查驗(yàn)設(shè)備的運(yùn)行性能、精度等關(guān)鍵指標(biāo)。每一臺(tái)設(shè)備都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的出廠檢測(cè),我們敢于將品質(zhì)擺在您眼前,讓您在采購(gòu)前就能對(duì)設(shè)備的實(shí)際狀況了然于胸,消除后顧之憂。
為了讓客戶對(duì)設(shè)備品質(zhì)有更直觀的了解,我們大力支持現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)貨。您可以親臨我們的實(shí)驗(yàn)室,近距離觀察設(shè)備的外觀細(xì)節(jié),親身操作查驗(yàn)設(shè)備的運(yùn)行性能、精度等關(guān)鍵指標(biāo)。每一臺(tái)設(shè)備都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的出廠檢測(cè),我們敢于將品質(zhì)擺在您眼前,讓您在采購(gòu)前就能對(duì)設(shè)備的實(shí)際狀況了然于胸,消除后顧之憂。一位來(lái)自汽車零部件廠商的客戶分享道:“之前采購(gòu)設(shè)備總擔(dān)心實(shí)際性能和描述有差距,在致晟光電現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)貨時(shí),工作人員耐心陪同我們測(cè)試,設(shè)備的精度和穩(wěn)定性都超出預(yù)期,這下采購(gòu)心里踏實(shí)多了?!彪娐夫?yàn)證中出現(xiàn)閂鎖效應(yīng)及漏電,微光顯微鏡可定位位置,為電路設(shè)計(jì)優(yōu)化提供依據(jù),保障系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。
同時(shí),微光顯微鏡(EMMI)帶來(lái)的高效失效分析能力,能大幅縮短研發(fā)周期。在新產(chǎn)品研發(fā)階段,快速發(fā)現(xiàn)并解決失效問(wèn)題,可避免研發(fā)過(guò)程中的反復(fù)試錯(cuò),加快產(chǎn)品從實(shí)驗(yàn)室走向市場(chǎng)的速度。當(dāng)市場(chǎng)需求瞬息萬(wàn)變時(shí),更快的研發(fā)響應(yīng)速度意味著企業(yè)能搶先推出符合市場(chǎng)需求的產(chǎn)品,搶占市場(chǎng)先機(jī)。例如,在當(dāng)下市場(chǎng) 5G 芯片、AI 芯片等領(lǐng)域,技術(shù)迭代速度極快,誰(shuí)能更早解決研發(fā)中的失效難題,誰(shuí)就能在技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)中爭(zhēng)先一步,建立起差異化的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。在航空航天芯片檢測(cè)中,它可定位因輻射導(dǎo)致的芯片損傷,為航天器電子設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行保駕護(hù)航。無(wú)損微光顯微鏡備件
其低噪聲電纜連接設(shè)計(jì),減少信號(hào)傳輸過(guò)程中的損耗,確保微弱光子信號(hào)完整傳遞至探測(cè)器。檢測(cè)用微光顯微鏡廠家
芯片制造工藝復(fù)雜精密,從設(shè)計(jì)到量產(chǎn)的每一個(gè)環(huán)節(jié)都可能潛藏缺陷,而失效分析作為測(cè)試流程的重要一環(huán),是攔截不合格產(chǎn)品、追溯問(wèn)題根源的 “守門人”。微光顯微鏡憑借其高靈敏度的光子探測(cè)技術(shù),能夠捕捉到芯片內(nèi)部因漏電、熱失控等故障產(chǎn)生的微弱發(fā)光信號(hào),定位微米級(jí)甚至納米級(jí)的缺陷。這種檢測(cè)能力,能幫助企業(yè)快速鎖定問(wèn)題所在 —— 無(wú)論是設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)的邏輯漏洞,還是制造過(guò)程中的材料雜質(zhì)、工藝偏差,都能被及時(shí)發(fā)現(xiàn)。這意味著企業(yè)可以針對(duì)性地優(yōu)化生產(chǎn)工藝、改進(jìn)設(shè)計(jì)方案,從而提升芯片良率。在當(dāng)前芯片制造成本居高不下的背景下,良率的提升直接轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)成本的降低,讓企業(yè)在價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)更有利的位置。檢測(cè)用微光顯微鏡廠家