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長波熱紅外顯微鏡

來源: 發(fā)布時間:2025-07-29

在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會破壞內(nèi)部電路和引線,導致無法進行電動態(tài)分析,適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結構的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優(yōu)點是開封過程不會損壞內(nèi)部電路和引線,開封后仍可進行電動態(tài)分析,能為失效分析提供更豐富的動態(tài)數(shù)據(jù)。自動法則是利用硫酸噴射實現(xiàn)局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。


熱紅外顯微鏡通過 AI 輔助分析,一鍵生成熱譜圖,大幅提升科研與檢測效率。長波熱紅外顯微鏡

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車規(guī)級芯片作為汽車電子系統(tǒng)的重心,其可靠性直接關系到汽車的安全運行,失效分析是對提升芯片質(zhì)量、保障行車安全意義重大。在車規(guī)級芯片失效分析中,熱紅外顯微鏡發(fā)揮著關鍵作用。芯片失效常伴隨異常發(fā)熱,通過熱紅外顯微鏡分析其溫度分布,能定位失效相關的熱點區(qū)域。比如,芯片內(nèi)部電路短路、元器件老化等故障,會導致局部溫度驟升形成明顯熱點。從而快速定位潛在的故障點,為功率模塊的失效分析提供了強有力的工具??梢愿玫膸椭嚻髢?yōu)化芯片良率與安全性。無損熱紅外顯微鏡品牌熱紅外顯微鏡采用先進的探測器,實現(xiàn)對微小熱量變化的快速響應 。

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致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡 Thermal EMMI P系列,是電子工業(yè)中不可或缺的精密檢測工具,在半導體芯片、先進封裝技術、功率電子器件以及印刷電路板(PCB)等領域的失效分析中發(fā)揮著舉足輕重的作用。

該設備搭載——實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析(RTTLIT)系統(tǒng),并集成高靈敏度紅外相機、多倍率可選顯微鏡鏡頭、精確高低壓源表等技術組件,賦予其三大特性:超凡靈敏度與亞微米級檢測精度,可捕捉微弱熱信號與光子發(fā)射;高精度溫度測量能力(鎖相靈敏度達0.001℃),支持動態(tài)功耗分析;無損故障定位特性,無需破壞器件即可鎖定短路、開路等缺陷。憑借技術集成優(yōu)勢,ThermaEMMIP系列不僅能快速定位故障點,更能通過失效分析優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性,為半導體制造、先進封裝及電子器件研發(fā)提供關鍵技術支撐。

半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段,芯片內(nèi)部結構日趨密集,供電電壓也持續(xù)降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上,經(jīng)迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發(fā)中,它在應對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設計驗證、失效排查以及性能優(yōu)化等環(huán)節(jié),都能發(fā)揮相應的作用。其通過不斷優(yōu)化的技術,適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關研發(fā)工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發(fā)人員更好地推進芯片相關的研究與改進工作。
熱紅外顯微鏡通過熱輻射相位差算法,三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。

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當電子設備中的某個元件發(fā)生故障或異常時,常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器,能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯(lián)激光器等先進技術,或其他高性能紅外傳感方案,具備寬溫區(qū)、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析,熱紅外顯微鏡能夠?qū)㈦娮釉O備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現(xiàn),直觀展現(xiàn)熱點區(qū)域的位置、尺寸及溫度變化趨勢,從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點,實現(xiàn)高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡利用其高分辨率,觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。廠家熱紅外顯微鏡選購指南

熱紅外顯微鏡的高精度熱檢測,為電子設備可靠性提供保障 。長波熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發(fā)出的紅外輻射,將其轉(zhuǎn)化為可視化圖像,進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發(fā)射紅外光,熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光,利用光電轉(zhuǎn)換將其變?yōu)闇囟葓D像。物體內(nèi)電荷擾動會產(chǎn)生遠場輻射和近場輻射,近場輻射以倏逝波形式存在,強度隨遠離物體表面急劇衰退,通過掃描探針技術可散射近場倏逝波,從而獲取物體近場信息,實現(xiàn)超分辨紅外成像。長波熱紅外顯微鏡

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